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项目类别 类比工程 太阳能电池组件分成四家企业 拟建工程 内布臵有金相显微镜、扩散炉、等离子体刻蚀机、烧结炉、绒面腐蚀清洗工作台、PECVD、等离子切边系统等。临近生产车间布臵生产辅助用房,在场址入口迎面布臵办公科研楼,布臵有办公室、控制室、研发实验室、检测室等。 生产工人数 3000 500 盐酸、硝酸、氢氟酸、氢氧化矽尘、煤油、盐酸、氢氟酸、氢化学物料 钠、三氯氧磷、四氟化碳、硅氧化钠、三氯氧磷、氯气、五氧烷、乙醇、异丙醇、氨水、氮化二磷、氨、硅烷、氢氧化钙、气、氩气 氟化钙、磷化氢、四氟化碳、 噪声、工频、超声波 噪声、工频、超声波 物理因素
3.3类比项目职业卫生防护措施调查
对晶龙集团宁晋县产业园区太阳能生产厂区的职业卫生管理情况卫生学调查结果如下: 3.3.1职业卫生管理机构
无专职的职业卫生管理机构,员工的健康管理由人事部门负责。未能提供相关各部门的职业卫生工作分工及职责。 3.3.2职业卫生档案管理
有部分建立,但不够完善。 3.3.3职业危害因素检测
未能提供。 3.3.4职业健康体检
能提供员工上岗前健康检查档案。但检查单位无职业病健康体检资质,属于普通健康检查,而非职业性健康体检。 3.3.5安全卫生培训
未提供员工安全卫生培训资料。
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3.3.6应急救援预案和措施
该企业涉及使用危险化学品,需要制订化学中毒应急救援预案,但企业未提供相关资料。 3.3.7个体防护用品
现场调查发现洁净车间员工基本都佩戴了个体防护用品。 防护用品的发放及管理制度未能提供,防护用品的配备资料未能提供。但是现场配备了防护用品柜及防护用品,配备的品种基本符合职业卫生要求。 3.3.8辅助卫生用室
厂区及车间分别设有食堂、浴室、更衣室、洗衣房、厕所等,辅助卫生用室配备符合职业卫生要求。 3.3.9职业病危害因素识别
类比项目主要存在氢氟酸、三氯氧磷、四氟化碳、硅烷、盐酸、氯、氨、氢氧化钠以及噪声、工频电场等职业病危害因素,与拟建项目的职业病危害因素相似。
3.3.10职业病危害警示标识的设臵状况
太阳能电池的生产设备主要进口,设备上均贴有警示标志。另外化学品储存间及特气室等接触有毒物品和气体的部位有警示标志。 3.3.11现场接触状况分析及防护措施调查
? 单晶原料清洗,使用硝酸和氢氟酸,单独布臵,清洗池上方有吸风罩,车间地面设臵了围堰。职业病防护主要是防酸烧灼伤,以作业人员穿戴个体防护用品为主。
? 单晶棒生产车间,将单晶炉生产场所与配套的真空系统和电源系统隔离布臵,避免职业病危害因素噪声和工频的影响,单晶炉密布生产,拉单晶车间空调环境,该车间基本不接触职业病危害因素。
? 单晶棒的切、磨加工车间,有数控自动化切割机,也有人工操作的普通机床和磨床,作业方式与普通机械加工相似,但均采用了
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湿式作业方式,因此切、磨过程基本不产生粉尘和噪声。 ? 单晶棒切片,使用全密闭和自动化切割机,用钢线、金刚砂和乳化液进行切割,基本不产生粉尘,但是噪声强度较大。
? 单晶片清洗,采用超声波和清水,有人工清洗机和自动化清洗机,基本不接触职业病危害因素。
? 单晶硅的制绒工艺是通过NaOH和异丙醇(或乙醇)反应,制绒车间还有表面腐蚀,表面腐蚀加入盐酸和氢氟酸。制绒生产环境采用准洁净环境,制绒和清洗采用全自动化和密闭化进口流水线,流水线安装有吸风设施。清洗加氢氟酸需要人工加入,每班一次,加入量不大于500ml(包装500ml/瓶),员工有严格的防酸烧灼伤个体防护用品。
? 磷扩散,使用三氯氧磷,生产环境为洁净环境,选用全自动化流水线,流水线安装有吸风设施,员工主要将单晶片架装上和取下,扩散前的单晶片清洗是人工作业。
? 刻蚀:使用四氟化碳,生产环境为准洁净环境,选用全密闭化机器,安装有吸风设施。
? 去磷硅相:该工序是对刻蚀后硅片上的污物用氢氟酸清洗的方法进行清除。生产环境为准洁净环境,选用全自动化流水线,流水线安装有吸风设施,员工主要将单晶片架装上和取下。 ? 等离子化学气相沉积(PEVCD):使用硅烷,是在300-900℃的温度完成,生产环境为准洁净环境,选用全密闭化机器,安装有吸风设施。
? 丝网印刷:通过丝网印刷机将银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片上,生产环境为准洁净环境,选用全密闭化机器,安装有吸风设施。但是银浆或银铝浆的调配为人工作业,使用乙醇,无防护设施。
? 烧结:通过高温合金的过程,生产环境为准洁净环境,选用全自动化和密闭化机器,安装有吸风设施。
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? 测试:生产环境为准洁净环境,选用全自动化和密闭化机器,安装有吸风设施。
? 太阳能硅片封装:封装流水线尚未安装完成,未生产。 ? 特气室:单独布臵,有警示标志,有高毒气体报警装臵,墙上有事故强排风局流风机。
? 化学品间:单独布臵,有警示标志,墙上有事故强排风局流风机。但是制绒间的化学品间是临时布臵的,建筑布局不符合化学品间的要求,化学品进出要通过洁净车间,建筑设计不符合耐酸碱的要求,墙和地面为普通装饰物,对高毒物品和腐蚀液体的管理制度不符合要求。
? 纯水制备间:单独布臵,设臵了隔离的员工操作间,但是车间发现随意堆放的化学物品,其中有固体氢氧化钠等危险化学物品。 ? 污水处理系统:单独布臵,正在改建中。
? 其它生产辅助实施:单独布臵,与生产车间隔离良好。 3.4类比企业应急救援设施
有紧急逃生路线,制绒工段、扩散工段及刻蚀工段均配备有抢修人员的正压式呼吸器,在上述工段同时配有3套有洗眼冲淋设施。 特气室有高毒气体报警装臵。 3.5、资料分析 3.5.1.体检资料
全厂员工上岗前健康体检数据有650名,体检机构为宁晋县中医医院,该机构无职业病体检资质。体检结果至今未发现职业禁忌症和职业病人。
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3.5.2.工作场所职业病危害因素测试结果
晶龙集团宁晋县产业园区2007年工作场所职业卫生检测结果: 1)氨的测定结果
TWA(mg/m3) 采样地点/岗位 测定 结果 <0.3 <0.3 接触 限值 20 20 超标 倍数 - - 测定 结果 <0.3 <0.3 STEL(mg/m3) 接触 限值 30 30 超标 倍数 - - PECVD XL机 PECVD L机 2)氟化氢的测定结果
采样地点/岗位 酸洗岗位4 酸洗岗位5 稀盐酸+氢氟酸液清洗1 稀盐酸+氢氟酸液清洗2 去PSG手工清洗 去PSG机洗 制绒室工作台 制绒室制绒机 MAC(mg/m) 测定浓度 0.13 0.16 0.10 0.16 0.07 0.06 0.03 0.03 接触限值 2 2 2 2 2 2 2 2 超标倍数 - - - - - - - - 33)盐酸的测定结果
MAC(mg/m) 采样地点/岗位 稀盐酸+氢氟酸液清洗1 稀盐酸+氢氟酸液清洗2 发射极扩散纯水清洗 测定浓度 0.6 0.7 0.4 接触限值 7.5 7.5 7.5 超标倍数 - - - 34)一氧化氮的测定结果
采样地点 /岗位 酸洗岗位4 酸洗岗位5 TWA(mg/m3) 测定 结果 0.41 0.36 接触 限值 15 15 超标 倍数 - - 测定 结果 0.53 0.43 STEL(mg/m3) 接触 限值 30 30 超标 倍数 - - 第 20 页 共 36 页