附表3 货物规格一览表
供应商（此处填名称并盖章）
项目：（此处填包号） 序号 设备名称 品牌型号
供应商授权代表签字：
说明：1、设备序号应与技术规格表一致。
2、设备规格参数如有详细描述可另作说明。
3、供应商可对该产品的特性和优点作详细的文字说明。
? 规格及技术参数 生产商 原产地（国） 25
附表4 技术规格和商务条款偏差表
供应商：（此处填名称并盖章） 项目：（此处填包号）
设备名称或条款号 设备或配置名称1 参数名称1 参数名称2 2 ?? 设备或配置名称1 参数名称1 参数名称2 3 商务条款号1 4 商务条款号2 ?? 技术参数及要求 单一来源采购文件 响应文件 对单一来源采购文件偏差 描述 备注 序号 1
供应商代表签字：
注明：1.必须如实填写本表，否则可能导致响应文件不被接受。
2.响应文件中的技术要求偏离表必须按照单一来源采购文件中的技术要求条款逐条
对照，逐条描述是否响应单一来源采购文件中的技术要求，缺少的条款将视为不响应。
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第七章 谈判项目需求及技术要求
一、总则
1、供应商应仔细阅读本单一来源采购文件规定的所有条款，包括各项技术要求，并且应全部做出响应；
2、供应商应具有本次谈判响应产品的生产能力或供应能力，具有完整的质量保证体系及相应的试验检测手段，并在响应文件中对上述部分的主要内容加以说明；
3、单一来源采购文件技术规格与要求提供的是最低限度的一般技术要求，并未对一切 技术细节做出规定，也未充分引述有关标准和规范的条文，供应商应保证提供符合“技术规格与要求”和有关标准的优质产品；
4、采购人保留对单一来源采购文件技术规格提出补充要求和修改的权力，供应商应承 诺予以配合。如提出修改，具体项目和条件由成交人与采购人商定；
5、响应产品能够在采购人提供的硬件环境中正常运行并实现提出的技术要求； 6、供应商必须按本单一来源采购文件要求提供响应产品的详细技术资料、使用说明书 等。
二、售后及技术服务要求
1、对其售出的产品提供良好的售后服务，国产设备免费质保三年。质保期外所有设备免费保修（只收取材料费）。
2、质保期内，自接到用户报修时起2小时内响应，24小时内到达用户现场并解决问题。 3、供应商提供详细的售后服务承诺。
4、提交质保期过后可提供的服务项目和收费明细。
5、技术服务：按供应商所提供产品厂家的技术要求进行服务，所需费用包含在总报价中，并报出单项价格。
6、交货期：按采购方要求 交货地点：采购方指定地点。
7、安装调试：成交供应商派出技术人员到最终用户现场免费安装调试。 三、项目要求
技术参数必须与所提供的技术证明材料相符，不得全部复制单一来源采购文件的技术指标，否则视为非实质性响应。
响应文件中为简述货物的品质、基本性能而标示的指标与某种产品相同的仅供供应商在选择货物时在质量水平上的参考，不具有限制性。评标以功能和性能为主，品质相同或优于
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技术指标要求的响应文件均可接收。
以下配置如有遗漏，请各供应商根据设备要求自行完善，报价为确保实现设备完整功能的总报价。
技术参数及要求
一、综述：
采购设备为硬质涂层专用多功能全自动PVD镀膜机,采用电磁场驱动阴极电弧、高功率脉冲磁控溅射、双极脉冲磁控溅射多种技术复合的方式，实现在各种基体上沉积各种材质的复合/功能梯度/多层/纳米薄膜的功能。主要应用于各种硬质涂层、耐磨涂层等工艺技术研发和小批量生产。 二、技术规格与要求
1. 真空腔室
1） 真空室尺寸：不小于Φ1000mm×H1000 mm；真空室内的有效均匀镀膜空间：不小于
Φ600mm×600 mm；
2） 真空室应采用304无磁性不锈钢材料；真空室带增强水冷壳；单层真空室热屏蔽板，另备1
套备件；
3） 真空室壳体要求内外抛光，外表面抛光后做喷丸处理；
4） 真空室内部要求最高温度达到550℃，能够长期工作在不低于500℃高温环境中； 5） 真空室前门上应带有大视角观察窗，可随时观察真空室内工作状态； 6） 所有密封圈采用国内优质的耐高温的氟橡胶密封圈；
7） 极限真空度高于3×10-4Pa；室温空炉状态下压升率小于0.33 Pa/小时；抽气时间（室温空炉，
从大气状态到5×10-3Pa）小于15分钟； 8） 真空室提供5年质量保证。
9） 配置镀后氮冷却功能，为防止真空室正压，应配置真空压力开关等安全装置； 2. 源挡板系统：
1） 所有源靶（包括阴极电弧源、磁控溅射源）要求配置源挡板。这些挡板可以通过按钮或者自
动镀膜工艺设置方便地开关；长期运行可靠稳定，不卡死；
2） 当源挡板关闭时，每种源靶都可以正常启动放电，实现靶面（源表面）的放电清洗，以避免
靶（源）面上的污染物质被镀到工件上；
3） 任何一种靶源放电时对源挡板的轰击加热，不能影响源挡板系统的正常移动和走位。 3. 真空获得系统
1） 采用国内知名品牌涡轮分子泵（抽速不小于3500L/S）；粗抽泵采用进口单极旋片机械真空泵，
入口带粉尘过滤器；加速泵采用国产罗茨泵，冷却方式：强制内水冷，采用变频器驱动控制；前级泵采用进口双极旋片机械真空泵；
2） 配置节流阀系统，采用步进电机系统，通过节流阀系统控制泵系统的抽速，节流阀要求从全
关到全开的任意角度可调，且在自动工艺中可根据设定参数自动调整；
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3） 所有真空管道和真空阀门都应采用304 无磁性不锈钢制造，外表面要求喷丸处理； 4） 配置进口品牌电磁换向阀，保证可靠性。 4. 真空检测和进气控制系统
1） 配置国内知名品牌的复合真空计，带一个电离真空规和二个热偶真空规，其中一个热偶规用
来监测分子泵的前级真空度，另一个热偶规和电离规用来监测真空室的真空度；
2） 配置四路国内知名品牌数字控制气体质量流量控制系统，可以满足四种反应气体和工作气体
单独和组合控制；采取措施避免气体突然充入真空室，使得真空室成正气压； 3） 配置6路高精度气体恒压控制分配板1套，可以保证对4路气体同时精确控制； 4） 流量计前配置气体精密过滤器，有效保证进入质量流量控制系统气体的纯度；
5） 配置进口品牌薄膜真空规1个（该薄膜规将用于镀膜过程的真空数据读取和控制），全刻度
范围：13.3Pa，最小读值：0.13Pa；
5. 工件转架系统
1） 应采用下装转架系统1套；下装工件转架系统应带公转（转速可选0-4.5 rpm）、可独立自转
（转速可选0-9 rpm）和挂杆可实现空间方位定位； 2） 配置1套可升降液压推车，用于整套工件转架的移动； 3） 转架材料采用304不锈钢材料制造；
4） 工件转架转动速度要求实时监测，并配置灵敏可靠的转动过载保护系统；
5） 可靠磁流体真空密封驱动转轴，偏压电源输出的高负偏压应能可靠地施加在真空室内的工件
转架系统上；
6） 4套标准柄式刀具夹具,采用拨片式公自转结构，包括标准柄状刀具直径4，6，8，10，12
毫米卡具做在一套夹具盘里；
6. 电磁驱动阴极电弧源系统：
1） 配置2列阴极电弧，1列3个，可同时安装二种相同或不同的纯金属或者合金靶材。采用动态
电磁场驱动，能有效抑制微液滴，靶材利用率>60%；
2） 应有很好的电绝缘性能和真空密封性能和电弧放电稳定性，长期使用稳定可靠； 3） 每一组电磁驱动阴极电弧源能够均匀涂覆所有被镀工件，所镀膜厚的相对标准差<15%。 4） 每套电磁驱动阴极电弧源可以长时间(3小时以上)稳定放电工作；带有气动自动引弧系统，手
动引弧按钮和实时在线监测功能；
5） 知名品牌阴极电弧电源，要求能够实现长时间（3小时以上）不间断最大电流不小于150A输
出工作，阴极电弧电源要求采用恒流输出方式；输出电流误差应在±1A以内；电流输出范围：30-150A，控制方式：IGBT逆变控制，冷却方式：强制风冷； 6） 随设备提供纯Ti靶6个，靶材规格Φ100×20。 7. 单向非平衡闭合磁场磁控溅射源系统：
1） 要求配置3套矩形平板状非平衡闭合磁场磁控溅射源，可同时安装相同或者不同的靶材，可
分别单独控制；
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