2） 每个非平衡闭合磁场磁控溅射源都能够均匀涂覆所有被镀工件； 3） 溅射靶有效镀膜范围上下不小于600毫米；
4） 双极脉冲磁控溅射电源采用德国霍廷格品牌的4020，驱动1对磁控溅射靶，溅射功率20KW； 5） 高功率脉冲电源采用德国霍廷格品牌的4002型，驱动1支磁控溅射靶，该电源采用新型水冷
方式，直流和脉冲一体化，带LCL功能。平均功率20KW，峰值电压2KV，峰值功率2MW，峰值电流1kA，输出频率1-500Hz，输出脉冲宽度1-200μs； 6） 随设备提供磁控靶材：纯Cr靶一块，Ti靶二块。 8. 偏压电源配置要求
1） 偏压电源采用德国霍廷格品牌的直流偏压电源3018型，输入电压380-400VAC±10%，最大
输出功率18KW，输出电压调节范围300V-1200V，最大输出电流15A； 2） 偏压电源要求具有可调节的微弧水平，灭弧时间< 2 μs；
3） 偏压电源需要能够与电弧、磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射兼容工作。 9. 工件加热及测温系统：
1） 烘烤温度最高可达550oC，可长期在500oC下工作，温控过程在镀膜程序中自动控制； 2） 采用智能PID温控系统，稳定控制精度可以达到±1 oC；
3） 配置3 个热电偶，其中1个用于加热器温度的检测，另外2个用于检测真空室内不同地方的温
度；
10. 冷却水循环系统：
1） 配置闭合循环的冷却水系统；
2） 配置进口品牌水流量开关，每一路水流量都实时检测，水流停止应锁定相应的靶源和离子源
系统，有相应报警装置和措施，保证使用安全和可靠； 3） 对所有靶源的回水温度实时监测并记录；
4） 在设备的总进水口，加装水过滤器，避免细小颗粒进入设备冷却系统。 11. 中央电控系统
1） 采用全自动控制系统。能够实现在控制面板上手动操作整个镀膜设备；也能一键式在全自动
方式下执行镀膜过程（抽真空、加热和镀膜沉积全过程）；
2） 采用PLC+IPC 的控制结构。保证最高的控制可靠性，和人机界面的方便性； 3） 该控制系统建立严密的互锁机构，保证设备的使用安全和操作员的人身安全； 4） 实现设备整体在线检测、报警和帮助功能；
5） 设备上所有工作状态参数数据实现自动（曲线）记录，方便随时研究查询； 6） 能够实现远程网络连接诊断功能。 12. 冰水机系统
1） 配置一套室外风冷式冰水机系统，型号:SG-30A, 压缩机马力30HP，泵浦马力：3.0KW（增
压泵），泵浦流量：12m3/hr，泵浦扬程：52M，温度范围：5~35℃。 2） 带PPR连接管路一套。
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13. 负压电烤箱系统
1） 配置一套负压电烤箱, 用于工件预加热烘烤，烤箱带导轨，下转架可以整套的推入推出，最
高温度300℃,控温精度±2%。
14. 空气压缩机系统
1） 配置一套空气压缩机系统，用于设备及附属设备供气；
2） 应包括：JAGUAR活塞式空压机一套，型号：EV-51，带储气罐，排风量0.21m3/min，功
率1.5KW，工作压力8Bar；
3） YOUQIAO冷冻式干燥机一套，型号：YQ-010AH，处理量1.0m3/min，进气压力6-10Bar； 4） 麦克西姆·爱普精密过滤器三套，除尘、除水、除油精密过滤器各一套； 5） 带连接管路一套； 15. 工具镀膜超声波清洗线
1） 配置超声波清洗线1套,清洗槽尺寸500（W）×400（L）×450（H）mm；
2） 清洗线应包含7个清洗槽，其中超声波槽3个，漂洗槽1个，纯水清洗槽3个，包括除蜡、
除油、防锈、漂洗等功能；
3） 超声波功率1.2KW，频率分别有25KHz，28KHz和40KHz; 4） 加热方式：电加热，工作温度40-80℃； 5） 带循环过滤功能； 16. 去离子水生产系统
1） 配置去离子水生产装置1套，用于清洗线提供去离子水，; 2） 预处理流量不小于1.7m3/h; 3） RO装置产水量0.5 m3/h;
4） 设计原水水质：≤300μs/cm，纯水出口水质：≤10μs/cm; 5） 带1500L储水箱；
17. 配置1台手动干式喷砂机，用于镀前刀具表面的去锈、去毛刺、退涂层等粗清洗。工作舱内尺寸：
900*600*680mm，外形规格：1300*900*1650mm，操作方式：手动，带分离器、除尘器一体化。电源220V，功率550W。
18. 配置1台手动湿式喷砂机，用于镀前刀具表面的去锈、去毛刺、退涂层等粗清洗。工作舱内尺寸：
900*700*680mm，外形规格：1100*900*1700mm,主体玻璃钢结构，采用气动安全开关。380V电源，功率1.1KW。
19. 配置1套球坑测厚仪，型号：BCT-1000，可以实现硬质涂层的厚度测量。膜厚测试范围：0.1μm～
50μm，膜厚测试精度：0.1μm，磨球：标配30mm直径GCr15钢球共2个,抛光介质采用1级金刚石研磨乳液，转台转速0~300rpm可调，配CCD数码显微镜，500万像素CCD，1-5倍变倍镜头，带球坑测试软件。
20. 配置1套多功能材料表面性能试验仪，型号MFT-4001，可以实现压痕试验、划痕试验和往复摩擦
试验。配置工控计算机一台，带19#液晶宽屏显示器，标准配件包括：工具一套，各种规格砝码
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一套。
1） 压痕实验要求：加载方式：自动加载，加载速率: 10N/min～100N/min，载荷：0.5N～300N、
精度0.5N，测量范围：0.5μm～100μm，压头：金刚石、锥角90度、尖端半径0.1mm（也可用其他规格），数据处理：生成Access、Excel数据库文件、Word试验报告、Jpeg图片。 2） 划痕试验要求：加载方式：自动加载，载荷: 0.5N～200N自动连续加荷、精度0.5N，划痕长
度: 2mm～40mm，加载速率: 10N/min～100N/min，测量范围：0.5μm～30μm，摩擦力测量范围：10-100N，精度0.5N，压头：金刚石、锥角120度、尖端半径0.2mm，数据处理：生成Access、Excel数据库文件、Word试验报告、Jpeg图片。
3） 往复摩擦试验要求：载荷：0.5N～300N，自动加载，精度0.5N，加载速率：10N/min-100N/min，升降高度：20mm，行程：5mm～40mm，往复速度：1mm/min～240mm/min 精度±0.1mm，摩擦副夹具：Φ3mm、Φ4mm、Φ5mm、Φ6mm；，摩擦副：GCr15钢球；AlO陶瓷球；ZrO陶瓷球；SiN陶瓷球，温度：常温～300℃（可选，数据处理：生成Access、Excel数据库文件、Word试验报告、Jpeg图片。
三、设计和制造安全规范
该镀膜系统的设计和制造应严格按照欧共体CE安全标准和规范执行。 四、设备验收
21. 设备每个部分及总体正常运行，电弧、溅射、偏压可以一起正常工作，相互之间没有干扰；可以
单独或同时工作3小时以上；
22. 电弧离子镀TiN（试验涂层）粗糙度小；沉积速率达到1-1.5 μm/hr；涂层显微维氏硬度HV>2000，
涂层与基体的结合力>90N。弧斑放电稳定，不频繁打弧，能够满足连续3小时以上的稳定工作;
五、设备通用要求
23. 随着设备，提供一套设备使用说明书（纸质）和一套电子版设备使用说明书。说明书以中文书写。
同时提供所有零部件附带的使用说明书等文件；
24. 随着设备，提供设备的全套图纸, 提供中央控制系统的全套电气图纸、备品备件和易损件清单； 25. 设备要符合最高的安全和环保要求。不得存在任何可能造成人身伤害和环境污染的潜在缺陷； 26. 每台设备配备必须的专用调试和维修工具；
27. 设备配置易损零部件和备用品(不包括易损件、消耗件)。 六、安装、调试和技术培训
28. 设备应运至买方实验室；
29. 投标人负责设备在买方的设备安装、调试和试运行工作；
30. 设备交货前45天向用户提供设备安装的相关技术要求，如水、电、气等动力条件、设备整体布置
图（外观尺寸、安装尺寸和重量）等；
31. 设备到达用户方后，投标人应在接到通知后二天内派遣经验丰富的工程师到现场安装调试。投标
人应负责正确指导设备的安装、调试及试生产，要求在计划的时间内达到正常生产能力，并及时提供合同规定的备品备件。
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32. 投标人负责向用户提供技术培训。应提供详细的培训计划并实施培训。通过培训，使用户方人员
能熟练掌握有关操作和维修技能，正确处理各种故障等。
七、售后服务 1．售后服务条款： 1.1 免费技术咨询支持
中标公司应通过电话、传真或E-mail等通讯方式随时解答对设备运行和生产有关的问题、担心和困难。 1.2 一年免费质保承诺
免费质保期的时间为一年（从验收完成时开始计算）。在此期间，除人为因素（不按产品使用说明书操作、保养，未经同意更改设备或者其部件等）外，因产品本身的质量问题引起的任何故障，都由中标公司负责维修和排除，免除所有相关费用，包括技术服务费、上门服务费（往返交通费、当地交通费、食宿费以及工时费等）和备件材料费（维修费和运输费）等。 1.3 设备终身技术服务
一年质保到期后，设备出现故障需要维修时，需要支付相应的技术服务费、上门服务费（往返交通费、当地交通费、食宿费以及工时费等）和备件材料费（维修费和运输费）等。
1.4 质量保证
保证提供的材料、设备是新的、未被使用过的、优质可靠技术成熟的，满足国家的产品质量法。 2. 备件服务
随设备交货时，提供一套标准备件，请列出具体备件清单。 3. 易耗、易损件服务
请给出“易耗、易损件清单及报价”。 4. 年度设备综合维护服务
在设备验收完成使用满两年时，中标公司应提供免工时费“年度设备综合维护服务”一次，在设备操作人员和维护工程师的紧密配合下对设备实施彻底维护，并对维护好的设备进行系统性地综合检查和验收。
6. 其它关于售后服务的说明：
质保期后费用收取由双方协商确定。
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