只扫描右上角部位,观察图像的变化。
改变扫描范围扫描A4纸的结果如下:
粗糙度 Ra: 10 nm ; Ry:400 nm ; Rz: 400nm、
扫描范围: X:5nm ; Y:5 nm
三维图形貌如下: 从扫描图可以看出,A4纸在右上角部位图像变化比较大,改变扫描范围,
从图中及数据结果不难看出:Ra变化很小,即轮廓算术平均偏差变化小,而 Ry和 Rz变化比较大,Ry表示微观不平度,Rz表示轮廓最大高度。
由于扫描范围变小,可以看出图像相比于之前更清晰,所以在实验中若想得到比较清晰的图,可减小扫描范围