扫描电子显微分析与电子探针(12)

扫描电子显微分析与电子探针

SEM的主要性能

(1)放大倍数可从20倍到20万倍连续调节。 (2)分辨率影响SEM图像分辨率的主要因素有：①扫描电子束斑直径；②入射电子束在样品中的扩展效应；③操作方式及其所用的调制信号；④信号噪音比；⑤杂散磁场；⑥机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降。 (3)景深 SEM(二次电子像)的景深比光学显微镜的大，成像富有立体感。