扫描电子显微分析与电子探针(4)

扫描电子显微分析与电子探针

1.电子光学系统

由电子抢、电磁聚光镜、光栏、样品室等部件组成。作用：获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。