扫描电子显微分析与电子探针(14)

扫描电子显微分析与电子探针

第二节像衬原理与应用

一、像衬原理像的衬度就是像的各部分(即各像元)强度相对于其平均强度的变化。 SEM可以通过样品上方的电子检测器检测到具有不同能量的信号电子有背散射电子、二次电子、吸收电子、俄歇电子等。