2）电磁透镜 ：相应于光学玻璃透镜，我们把能使电子束聚焦的装置称为电子透镜(electron lens)．旋转对称的静电场和磁场对电子束都可以起到聚焦的作用，
3）照明系统 ：照明系统的作用是提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束．它主要由发射并使电子加速的电子枪和会聚电子束的聚光镜组成。
电子显微镜使用的电子源有两类：一类为热电子源，即在加热时产生电子；另一类为场发射源，即在强电场作用下产生电子．为了控制由电子源产生的电子束，并将其导人照明系统，须将电子源安装在称为电子枪的特定装置内。
4）成像系统 ：透射电子显微镜的成像系统由物镜、中间镜(1、2个)和投影镜(1、2个)组成．成像系统的两个基本操作是将衍射花样或图像投影到荧光屏上。 （2）扫描式电子显微镜
1）工作原理：一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息。
有：二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X 射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子等。
2）与透射电镜比较,有如下特点: 1、用于观察尺寸较大的试样 2、放大倍数变化范围 3、景深较大 4、分析功能多 5、分辩率低
（3）衍射分析技术：金属和其他晶体物质都是由在三维空间内周期性的有规则排列的许多质点（即原子、离子或原子集团）所组成，这些质点对具有适当波长的辐射波（如X射线，电子束或中子束）的弹性相干散射，将会产生衍射现象。
（4）电子衍射技术：电子衍射是一种测定表面结构和成分的有效技术。目前，电子衍射一般都在透射电镜中进行 （5）X射线衍射技术：X射线是一种波长小于可见光的电磁波，其波长为（0.01~100）×10-10m,而用于结构分析的波长为（0.7~2.0）×10-10m。X射线衍射与电子衍射的基本原理完全相同，两种技术所得到的晶体衍射花样的集合特征也大致相似，但用X射线衍射技术所测定的结果比用透射电镜衍射技术测定的结果更精确。
（6）表面成分与原子状态分析：对于表面原子的组分和分布等的分析，常采用各种能谱技术。电子能谱技术的基本原理就是用电子束、X射线、真空紫外光束等作为激发源，照射试样表面，使其激发出具有不同动能的电子（俄歇电子或光电子），从而得到这些电子动能统计分布的谱图，即电子能谱图。 1）、俄歇电子能谱技术：俄歇电子是由一定能量的电子束（或X射线）激发样品而产生的一种二次放射电子，其能量一般500~2000eV,逸出深度很小，仅0.4~2mm。 2）、光电子能谱技术：光点子能谱技术以光波为激发源，即用X射线或紫外光射线照射试样表面。由于光电效应，试样表面上原子的某一能级的电子被击出，这类电子即光电子。收集这些光电子的信息进行分析，即根据它们在电子能谱图中的位置，确定试样表面的化学成分和不同元素的能级。
（7）表面分析技术的新发展——扫描探针显微技术：扫描探针显微技术是20世纪80年代新发展起来的一种采用扫描探针显微镜（Scanning probe microscope）观察微观世界的有力工具。
（8）扫描探针显微技术的基本特点：1）近场探测特定的物理量；2）用机械式探针取代电子束或光子束；3）可观测到物质表面结构的三维图像；4）可在大气、真空、常温、低温、
或液体等多种环境下工作；5）不需要特别的制样技术，而且探测过程中不损伤样品 （9）扫描隧道显微镜：扫描隧道显微镜以其高分辨率（横向分辨率达0.1mm），使人类第一次能够直接观察到单个原子在物质表面的排列状态以及与表面电子行为有关的物理、化学性质，它开拓了微观世界研究的新领域。
（10）原子力显微镜：原子力显微镜也称扫描力显微镜。它的工作原理与扫描隧道显微镜基本相同，二者的主要区别是：1）检测的物理量不同：扫描隧道显微镜检测隧道电流；而原子力显微镜检测力，它最小可检测到1×10-9N的力，相当于互相靠近的两个氖原子之间的作用力，故称原子力显微镜；2）扫描的方式不同：扫描隧道显微镜是探针扫描，而原子力显微镜则是试样扫描。
（11）磨损微粒分析技术： 磨损微粒分析包括微粒的尺寸、形状与成分的分析，主要的分析方法由铁谱技术与光谱技术，磨损微粒分析技术不仅是研究磨损机理的一种重要研究方法，也是监控与预测磨损状态的一项重要手段。
1）铁谱技术：铁谱技术主要包括两个方面的内容
1.应用铁谱仪将磨损微粒从润滑油液中分离出来并形成铁谱片 2.检测和分析铁谱片
2）光谱技术：光谱技术是利用物质的光学性质来确定其化学成分或结构的一种分析技术，物质在外界足够大的能量作用后，会发出各种不同波长的光线，从而可得到按一定波长顺序排列的光带，即发和光谱。