电子车间静电防护系统实施方案(3)

2019-01-26 21:32

位,同时又要考虑在万一情况下,人员触及220/380V工频电压时流经人体的电流不超过5mA的安全值。兼顾上诉要求,有关标准一般规定地坪的对地电阻值为1×105~1×109Ω,表面电阻为1×105~1×109Ω。

6.2防静电警示标识符

我司只允许使用EOS/ESD S8.1-1993 或 EIA 推荐的以下三种防静电警示标识符:

图 4-a 图 4-b 图 4-c

在通常情况下,优先使用如图4-a和图4-b所示的警示标识符。 制作含有上述标识符的防静电警示标签时,允许在标识符旁加注必要的说明文字。

防静电警示标识符最小高度尺寸不得小于1/3英寸(约8.5mm)。 6.3防静电区域标识规范

6.3.1标签规格

防静电区域警示标签规格如图5-a 和图5-b 所示,采用PVC材料制作。

图5-a 防静电区域警示标签(中文)

图5-b 防静电区域警示标签(英文)

6.3.2标签使用要求

6.3.2.1上述防静电区域警示标签仅用于粘贴在防静电区域的外边界地标线上,不得在区域内部专为场地定置而设的边界线上粘贴,也不允许在墙壁、立柱上张贴。

6.3.2.2在防静电区域边界线上粘贴标签时,文字顶向必须朝防静电工作区域内,即从通道上站立面向防静电区域边界看警示标签为通常视向,如图6所示。

6.3.2.3防静电区域警示标签按中、英文版相间张贴,每两个标签中心间距1米(即邻侧间距0.82米),如图6所示。

图6 防静电工作区域警示标签使用要求示意

6.4防静电器材标识规范

6.4.1标签规格

防静电器材,如防静电周转车、周转箱、工作椅等,具备静电防护的性能,适用图4-b所示的标识符,也可使用图4-a所示的标识符,标识符旁可加注必要的说明文字。

6.4.2标识要求

6.4.2.1当所容纳的静电敏感物品本身不适宜再作防静电标识

时,该防静电器材应优先使用图1-a所示的警示标识符, 如装IC的元件盒。

6.4.2.2警示标签应粘贴在防静电器材的不易磨损的显目位置,如周转车最上层横梁中央、周转箱的两侧中央位置、防静电工作椅靠背中央等。

6.4.2.3防静电泡沫垫等具有较短的防静电性能时效的,除作防静电警示标识外,还应注明有效期限,以避免超期误用。

6.4.2.4防静电器材的接地标识遵照本规范4.4执行。

6.4.2.5静电测试用的器材,如腕带测试仪、静电场探测仪等,因其本身不为被测物品提供静电保护,不需作防静电标识。 6.5防静电接地标识规范

6.5.1防静电接地标签规格

防静电接地系统的接线端口,以及设备上的防静电接地端口,使用如图7-a或图7-b所示的警示标签,用不干胶防水塑面纸制作。

图7-a 防静电接地警示标签(中文) 图7-b 防静电接地警示标签(英文)

仪器、工具、工装上的防静电接地端口可采用图8所示的简化标签,用不干胶防水塑面纸制作。

图8 防静电接地标签

6.5.2接地标签使用要求

6.5.2.1适用图7-a或图7-b标签的接地端口,在粘贴标签时应使接地端子位于标签的内孔中央。

6.5.2.2图8标签一般情况下应粘贴在接地端口的正上方。端口上方附着面不够时可将标签粘贴在其左、右侧或正下方位置,但标签距离接地端口边缘不得超过5mm。 7 “测”的静电防护

静电性能的测量是整个静电防护工作中不可或缺的重要组成部分。为了解生产过程中静电起电情况,判别生产过程中静电的影响程度,检验静电防护用品、设施、工器具和材料的静电性能,需要对静电性能参数进行测量。

静电测量的目的,归纳为下述几点:

1)为静电防护工程设计和改善产品自身抗电性能设计提供数据和依据。

2)在实际运行条件下,判断人体、设备、工装器具等是否可能成为静电放电危害源。

3)检测静电防护器材(器具、工具、设备、材料)的性能和质量。

4)评价静电防护措施的效果。 7.1检测指标,见表4

防静电工作区内各种器材的检查要求

项目 工作台面 防静电鞋对地电阻 510要求 对地电阻 569表面(点对点)电阻 说 明 7.5×10~1.0×10Ω 7.5×10~1.0×10Ω 10~10Ω 8 项目 防静电工作服穿着情况 防静电鞋情况 防静电工作台接地情况 防静电地点完好情况 腕带、台垫等的接地连接情况 防静电工作服静电位 防静电工作区静电位 防静电地面 腕带 鞋束(足跟带) 5要求 对地电阻 目测检查应扣紧纽扣,穿戴整齐 目测检查应穿着整齐 目测检查,接地良好 目测检查应清洁,无损坏 目测检查,应良好 ≤±200V 表面(点对点)电阻 说 明 在未防护的静电敏感器件周围35cm内≤200V 1.0×10Ω~1.0×10Ω 1.0×10Ω~1.0×10Ω 105959在未有测试仪情577.5×10Ω~3.5×10Ω 况下,做此检查 5×10Ω~1.0×10Ω 591048 存放架、运输小车 7.5×10Ω~1.0×10Ω 7.5×10Ω~1.0×10Ω 周转容器 防静电工作服 10Ω~1.0×10Ω 51053 101×10Ω~1.0×10Ω 1×10Ω~1.0×10Ω 表4

7.2检测项目表,见表5

检查项目 检查周期 日 ★ ★ ★ ★ 周 ☆ ☆ ☆ ☆ 月 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ 季 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ 年 测量仪器 人体综合测试仪、 腕带测试仪 人体综合测试仪 温度计 湿度计 表面电阻测试仪 静电电压量测仪 表面电阻测试仪 表面电阻测试仪 表面电阻测试仪、 兆欧表 表面电阻测试仪 防静电手腕带 防静电鞋 环境温度 环境湿度 仪器、设备、工作台接地线电阻 离子风机 工作服表面电阻量测 工作台面(包括台垫)表面电阻 周转容器表面电阻与接地电阻 存放容器、小车等表面电阻 电烙铁接地电阻与绝缘电阻 防静电地面量测表面电阻 兆欧表、绝缘电阻表 ☆ 兆欧表 注:★ 全检项目,☆ 抽检项目 表5

5.3防静电检查表,见表6

防 静 电 检 查 表 检查部门: 编制: 审核: 检查日期: 确认项目 接地施工是设备接地与静电接地分开,是否有每年1次确认接地电阻 工厂设备用的地线是否与人体用地线分离(防止触电) 结果 备注 环境 人体用地线是否在接地点与专用接地或设备用地线连接 防静电作业场所的湿度是否保持45%-75% 作业台面上是否铺了防静电胶皮且与人体用地线接地 作业搬运车是否用链子或导电轮与地面接地 环境 搬运车各层是否铺了导电胶皮或接地措施 防静电作业场所椅子是否是防静电椅子或防静电接地 作业员是否穿了防静电工作服 护腕、帽子等穿戴物是否进行了防静电措施 作业员 作业员是否穿戴了静电手环或防静电工作鞋 静电手环是否在与人体用地线接地 静电手环的金属部分是否与人体皮肤接触 作业员是否穿戴防静电工作鞋 周转箱是否使用导电性材料 基板和基板之间的隔板是否使用了防静电材料 半导体保管箱是否使用防静电材料且接地 零部件仓库 半导体放置架是否铺了防静电胶皮 半导体是否放置在防静电盒子里面 半导体防静电盒子是否放入到防静电袋子里面 将半导体从盒子里拿出时是否佩带静电手环 尾数半导体的保管状态是否使用导电海绵及导电性袋子 半导体保管场所是否与塑料袋、发泡胶等带电物隔离 架子的防静电胶皮是否与设备用地线接地 表6

7.3检测方法

具体参照各仪器设备的使用方法。


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