防 静 电 检 查 表 检查部门: 编制: 审核: 检查日期: 确认项目 接地施工是设备接地与静电接地分开,是否有每年1次确认接地电阻 工厂设备用的地线是否与人体用地线分离(防止触电) 结果 备注 环境 人体用地线是否在接地点与专用接地或设备用地线连接 防静电作业场所的湿度是否保持45%-75% 作业台面上是否铺了防静电胶皮且与人体用地线接地 作业搬运车是否用链子或导电轮与地面接地 环境 搬运车各层是否铺了导电胶皮或接地措施 防静电作业场所椅子是否是防静电椅子或防静电接地 作业员是否穿了防静电工作服 护腕、帽子等穿戴物是否进行了防静电措施 作业员 作业员是否穿戴了静电手环或防静电工作鞋 静电手环是否在与人体用地线接地 静电手环的金属部分是否与人体皮肤接触 作业员是否穿戴防静电工作鞋 周转箱是否使用导电性材料 基板和基板之间的隔板是否使用了防静电材料 半导体保管箱是否使用防静电材料且接地 零部件仓库 半导体放置架是否铺了防静电胶皮 半导体是否放置在防静电盒子里面 半导体防静电盒子是否放入到防静电袋子里面 将半导体从盒子里拿出时是否佩带静电手环 尾数半导体的保管状态是否使用导电海绵及导电性袋子 半导体保管场所是否与塑料袋、发泡胶等带电物隔离 架子的防静电胶皮是否与设备用地线接地 表6
7.3检测方法
具体参照各仪器设备的使用方法。