第三讲器件仿真 - 图文(6)

语句和参数详解

主要包括三大部分内容

（1）器件编辑语句 region、electrode、doping等 （2）模型与环境设置语句 models method等 （3）电学特性仿真语句 solve 等

#语句1 仿真器调用命令语句 go

调用atlas器件仿真器需要用到go语句：

go atlas

解析： go 用来退出和重新启动atlas仿真器 注意： 这个命令是通过 deckbuild来执行的

mesh ? 语句#2 mesh 语句功能： mesh定义网格信息。类似于athena仿真器中的Line. 语法规则：.MESH LOCATION= [SPACING=] 语句解析： 此语句定义了网格线的位置和间隔。状态有mesh，x.mesh，y.mesh，eliminate 等 参数解析： 参数#1 mesh： MESH INF= 导入由DevEdit创建的器件结构 例如：mesh infile=nmos.str mesh space.mult= , 对网格进行控制, 默认值为1。 定义网格时必须先使用这句来初始化网格。 参数#2：x.mesh和y.mesh定义网格位置及其间隔(line) x.mesh loc=0.1 spac=0.05 mesh ? 参数#3 Eliminate 可以在ATLAS生成的mesh基础上消除掉一些网格线，消除方 式为隔一条删一条 ? 可用参数有columns,rows, ix.low,ix.high,iy.low.ly.high, x.min,x.max,y.min,y.max 例如：Eliminate columns x.min=0.2 x.max=1.4 y.min=0.2 y.max=0.7 Eliminate 前 Eliminate 后

mesh

#例1 设置初始网格均匀分布，为1.0微米

mesh space.mult=1.0

#隔的例2 为间隔的x=0.00设置x的位置渐变过渡方向网格， 从以0.5间据需要设置多个网格。x=3.0的位置。 这样可以根 到以0.2x.mesh loc=0.00 spac=0.5 x.mesh loc=3.00 spac=0.2 x.mesh loc=5.00 spac=0.25 x.mesh loc=7.00 spac=0.25 x.mesh loc=9.00 spac=0.2 x.mesh loc=12.00 spac=0.5

mesh

#例3 设置y方向网格信息 y.mesh loc=0.00 spac=0.1 y.mesh loc=1.00 spac=0.1 y.mesh loc=2.00 spac=0.2 y.mesh loc=5.00 spac=0.4

解析：以上建立了一个含有网格信息的12微米×5微米大小的

区域。

.MESH 定义沿着方向的网格位置。 注意： x,y,z 方向上定义是等价的。

语法结构如下：

X.MESH LOCATION=<数值> SPACING=<数值>

Location定义了网格线的位置，Spacing定义了网格间隔。