半导体器件物理金属-半导体接触和MES FET(4)

2019-03-10 12:03

得好。可用于微波领域。

金/半二极管在加正向电压时,n型半导体一边的热电子将越过势垒顶进入金属,与声子相互作用将能量交给晶格,热电子就成为通常金属中的电子,在电场作用下,形成漂移电流。由于转移能量的时间极短(10-13秒),不会在金属中产生储存效应。但在正向电压下,并不是一点储存效应也没有。因为金属价带中的空穴可以进入半导体的价带中去,这些空穴对n型半导体而言是非平衡少子。其数值比热电子发射电流小得多,故在前面讨论伏安特性时未计及。既然为非平衡少子,也会产生一定的电荷储存效应。在反向工作时就有一定的储存时间(反向抽取时间)。其影响可估算如下: 从金属注入半导体的空穴在势垒区边界x=0处(见图8.8)的浓度为pn(0),在扩散区随x有一个分布pn(x),构成浓度梯度?p(x)/?x,假定扩散区的电场为ê,空穴电流包括两部分:一部分是浓度梯度?p(x)/?x形成的扩散电流;另一部分是电场ê对空穴的漂移作用:

jP=-qDP?p(x)/?x+qμPp(x)ê (8.3.1)

在正向注入较小时,扩散区的压降即电场ê较小。空穴浓度本身也小,故上式中右边第二项可以忽略。令空穴扩散长度为LP,则有 jP=qDP?p(x)/?x=qDP[pn(0)- pn0]/LP

= qDPpn0[exp(qV/KT)-1]/LP= qDPni2[exp(qV/KT)-1]/LPND (8.3.2) 若热电子发射电流为jn,则总的正向电流为

j=jn+jP=(j0+qDPni2/ LPND)[exp(qV/KT)-1] (8.3.3)

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可以引进一个注入比:

γ0=jP/( jn+jP) ≈jP/jn= qDPni2/LPNDA*T2exp(-qфBn/KT) (8.3.4) 在室温下,如果ND=1016cm-3, τ

P=10

-6

秒,DP=13 cm2 /S, LP=(τ

P

DP)1/2=3.6*10-3cm, ni=1.5*1010 cm-3, ФBn=0.7eV, j0=5*10-5安培/厘米2, 则可以得到

γ0=2.6*10-7 (8.3.5)

这说明空穴电流在正向电流中只占有很小的比例。正向电流主要是热发射电子电流,故储存电荷(空穴)很小,可以忽略。 由γ0的公式可知如果ND过低,寿命τγ0增大。

通常在小注入情况下,漂移电流jP比较小时,γ0总是一个小量。如果注入足够大,少子空穴的漂移电流不能忽略,而且在漂移电流与空穴扩散电流相比起主要作用时,情况变掉了。可以证明这时的注入比为

γ=(ni2/ND2)(μP/μn)(j/j0) (8.3.6) 对于ND=1015cm-3,j0=5*10-7 安培/厘米2的金属-n型Si二极管,在电流密度j=350安培/厘米2时,γ可达5%;

由此可见,在大电流密度时,为了降低注入比,必须用ND较大的低阻材料,j0较大、ni较小的金/半系统.

? 反向恢复时间:可以用与PN结二极管完全类似的方法分析金/半二极管从开态变到截至态的瞬态过程。

金/半二极管正向时储存的电荷决定于正向少子(空穴)电流IP=jPA;

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P过低,势垒高度变大,都会使

γ= IP/I=jP/j

Q =IPτP=γIFτP (8.3.7) 当管子从正向转为反向时,这部分电荷将由反向抽取电流抽出,以及在扩散区复合掉。

如果储存电荷在tr时间内消失,则由于反向电流Ir抽走的电荷为Irtr;在反向恢复过程中储存电荷的平均值为Q/2;单位时间内复合的储存电荷为 Q /2τP,在tr时间内复合掉的空穴(储存电荷)为(Q/2τP)tr; 因此有等式

Q=Irtr+(Q/2τP)tr tr称为反向恢复时间

tr=Q/[Ir+(Q/2τP)]= γIFτP/[ Ir+(γIF/2)] (8.3.8) 在IF=Ir的条件下,γIF/2??IF

因而有 tr=γτP; 由于γ很小,故tr很小。

例如:前面的例子中,τP=1微秒,γ=2.6*10-7, tr=2.6*10-4ns。由此可见在小注入时金/半二极管的反向恢复时间很短,电荷储存效应完全可以忽略。决定其开关时间的主要是它的电容效应。

? 金/半二极管的电容-电压特性:

金/半二极管与P+-N结相似,具有势垒电容。单位面积势垒电容的值为 C=[ε0εqND/2(Vbi-V)]1/2 (8.3.9) 上式说明在正偏时势垒电容较大,在反偏时较小。

金/半二极管的C-V关系可用来测量它的势垒高度及掺杂浓度。方法

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是利用

1/C2 = 2(Vbi-V)/ε0εq ND=2VD/ε0εq ND-[2/ε0εq ND]V (8.3.10) 在不同电压下测量C的值,作1/C2与V的关系图,得到一直线。由直线的斜率即可得到半导体的掺杂浓度

ND=2/[kε0εq] (8.3.11) 由截距可得VD,从而得到势垒高度ΦBn

ΦBn=qVD+Eg-KT ln(ND/ni) (8.3.12)

8.4. MESFET 的结构和基本特性 8.4.1. 基本结构

MESFET的基本结构与结型场效应管相同,只是用肖特基势垒代替了PN结,通过其耗尽层厚度的变化来调制电流通道的横截面。与J-FET相比,MESFET有其优点:金/半接触势垒在低温下形成,不必采用高温工艺,故可采用电子迁移率高、饱和速度大的化合物半导体例如GaAs来制造,从而得到开关速度快、频率高的器件。

N沟GaAs MESFET在微波和高速数字电路中有重要应用。实际的GaAs MESFET是在半绝缘的GaAs衬底上由离子注入或薄膜生长形成的n型GaAs层上制作的。采用半绝缘的GaAs衬底是为了减小寄生电容和便于器件之间的隔离。此外,栅极金属一般用难熔金属(例如TiW合金)同时充当形成漏、源接触区的掩膜,使源、漏接触区尽可能靠近栅极,以便减小沟道两端的串联电阻。

下图是MESFET的结构示意图,使用时源极一般接地,栅极电压和漏

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极电压都是相对源而言的。正常工作时漏极正偏,因而肖特基结的耗尽区向漏端偏移;栅极电压应小于肖特基结的正向导通电压以避免明显的栅极漏电流。对n-GaAs MES FET,VGS的最高极限值为+0.7V,GaAs的掺杂浓度约为ND=1017cm-3.W和L分别为沟道宽度和长度。

8.4.2. 夹断电压和阈值电压

假定GaAs是均匀掺杂的,则由P+-N结理论,耗尽层厚度为 h(y)={2ε0ε[Vbi-VGS+V(y)] /qND}1/2 (8.4.1)

V(y)为沟道内y处相对于源端的电势,在漏端V(L)=VDS;y处肖特基势垒上的总电势为 Vbi-VGS+V(y);当h=a时,耗尽层边界与衬底接触,相应的总电势称为夹断电压,以VP表示。显然有

VP=qNDa2/2ε0ε (8.4.2)

若忽略串联电阻的作用,则在沟道源端(y=0)有V(y=0)=0,因此使耗尽层边界和衬底接触的临界栅压为

VT=Vbi -VP (8.4.3)

VT 为阈值电压。只有VGS超过VT时器件才会有导电沟道,从而进入导通状态。

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