电子级磷酸市场调研报告
（修改版）
贵州威顿晶磷电子材料有限公司
二OO八年十二月二日
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目录
1．电子级磷酸概述 .............................................................. 4 1.1电子级磷酸定义 ............................................................................................................................ 4 1.2电子级磷酸概述 ............................................................................................................................ 4 2．电子级磷酸技术发展趋势 ...................................................... 5 3.电子级磷酸的主要应用领域 ..................................................... 6 3.1在TFT-LCD产业的应用 .............................................................................................................. 6 3.2在IC行业中的应用 ...................................................................................................................... 9 3.3 IC用磷酸与TFT用磷酸区别分析 ............................................................................................ 11 4.电子级磷酸国际市场综述 ...................................................... 15 5．大陆电子级磷酸市场综述 ..................................................... 15 6．电子级磷酸进出口分析 ....................................................... 16 6.1大陆进出口数据分析 .................................................................................................................. 16 6．2.海外进出口数据分析 ............................................................................................................... 19 7．电子级磷酸市场容量评估 ..................................................... 26 7.1国内市场 ...................................................................................................................................... 26 7.2国际市场 ...................................................................................................................................... 26 8.电子级磷酸价格分析 .......................................................... 27 8.1国际贸易价格 .............................................................................................................................. 27 8.2大陆贸易价格 .............................................................................................................................. 30 9．国外电子级磷酸生产商 ....................................................... 32 9.1日本磷化学工业株式会社（RINKAGAKU KOGYO）.................................................................. 32 9.2日本化学工业公司（NIPPON CHEMICAL INDUSTRIAL CO.,LTD） .............................................. 32 9.3日本RASA工业株式会社总公司 ............................................................................................. 32 9.4美国SIGMA-ALDRICH CORPORATION与HONEYWELL ................................................................ 33 9.5 以色列的ICL GROUP（ ISRAEL CHEMICALS LIMITED） ........................................................... 33 9.6 德国的BASF 与MERCK ............................................................................................................. 34 9.7 波兰KANTO与MERCK—KANTO ............................................................................................... 34 9.8韩国东友 ...................................................................................................................................... 34 9.9韩国东进DONGJIN SEMICHEM .................................................................................................... 34 9.10英国GOWER化学有限公司 ................................................................................................... 34 10．国内电子级磷酸生产厂家 .................................................... 35 10.1四川成洪磷公司 ........................................................................................................................ 35 10.2江阴澄星磷化工（集团）股份有限公司 ................................................................................ 36 10.3其它信息 .................................................................................................................................... 38 11．风险分析 ................................................................. 39
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11.1市场风险 .................................................................................................................................... 39 11.2技术风险 .................................................................................................................................... 39 11.3成本风险 .................................................................................................................................... 39
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本《电子级磷酸市场调研报告》以电子级磷酸的用途、产能、产量、消费、价格、进出口等数据为依据，以技术、市场和客户为报告的重点内容，内容包括市场条件，主要生产商经销商分析，技术情况，市场趋势等，数据来源于中国权威信息机构。
1．电子级磷酸概述
1.1电子级磷酸定义
电子级磷酸又可称为超高纯磷酸，它是超净高纯试剂中的一种。主要用于芯片的清洗、腐蚀，印刷电路板的腐蚀和电镀清洗。目前作为TFT-LCD(薄膜液晶显示器)和IC(大规模集成电路)行业中的蚀刻液，被广泛应用于集成电路及液晶显示器领域中。电子级磷酸被称为“磷酸行业皇冠上的明珠”。
1.2电子级磷酸概述
电子级磷酸在性质上和普通磷酸一样。磷酸（含量为８５％时），为无色透明糖浆状液体，无水份的磷酸为无色不稳定的斜方晶体，易吸潮，能与水及乙醇任意混合。
电子级磷酸生产的方法主要有湿法和热法两种。其中用硫酸及其他无机酸处理磷矿石制作的磷酸称为湿法磷酸；将湿法磷酸用提纯的方法净化得到杂质含量在要求范围内的磷酸为电子级磷酸；用电炉或高炉生产电子级度的单质磷而后经燃烧水化得到的磷酸则称为热法磷酸。
1.2.1湿法磷酸
通过对含磷酸盐矿石的酸化处理（处理酸通常为硫酸），制得湿法磷酸；经过净化达到电子级磷酸的标准。
净化磷酸的技术很多，如离子交换法、离子交换膜电渗析法、磷酸浓缩结晶法或复盐结晶法、有机溶剂萃取法、有机溶剂沉淀法、化学沉淀法等。其中超净过滤可能是采用来做电子级磷酸净化的技术。
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1.2.2热法磷酸
一般情况下，半导体用磷酸都采用热法（即电炉法）生产，因为半导体用磷酸要求可溶性金属尤其是重金属含量低，以避免对微电子线路的污染，其中任何尺寸大于0.5微米的不溶性杂质微粒都有可能造成这些期间的短路。
用于微电子行业的超纯磷酸可用电子级的五氧化二磷合成，或者由电子级的三氯氧磷水解制得。其中五氧化二磷是在电炉中使用焦碳对磷矿石的还原法，还原出磷，然后再经过燃烧生成；电子级的五氧化二磷可由升华来提纯，制得超纯P2O5，然后用超纯水配制。而电子级的三氯氧磷由于三氯氧磷易挥发，可由精馏工艺制得，如下所示：
工业三氯氧磷——精馏——水解——脱酸——稀释——水浴加热——超净过滤——超净分装——成品包装
1.2.3两种工艺的区别
由于电费高涨，热法磷酸存在着很多缺点如：能耗高、污染大等原因，其生产与发展在不同程度上受到严重限制，这就大大的促进了湿法磷酸的发展，湿法磷酸对热法磷酸的竞争力一直呈上升趋势，净化湿法磷酸技术的开发研究也越来越受关注。
然而，同湿法磷酸相比，热法磷酸的纯度和浓度却比较高。但是其制造成本较湿法磷酸要高将近一半，这主要是由于热法磷酸工艺是先从磷矿石中制黄磷，再制磷酸。由于黄磷生产消耗大量电力又污染环境，因此生产成本非常高。
2．电子级磷酸技术发展趋势
电子级磷酸属于微电子化学品,主要用于芯片的清洗和腐蚀,它的清洁度和纯度对IC 产品的成品率、电性能及可靠性等都有着十分重要的影响。在微电子器件、电路技术方面,随着高集成度、超高速、超高频集成电路及器件的开发,集成电路与器件的特征尺寸越来越精细,加工尺寸已进入深亚微米、百纳米直至纳米级。2006年国外高性能微处理器的特征尺寸已达0.19μm,目前0.1μm 的光刻技术已进入实用化阶段；预计到2010 年, 特征尺寸将达到0.05μm ; 到2012 年, 特征尺寸将达到0.035μm。而国内目前的光刻技术水平以0.35μm 为主,根据国家“十一
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