第一章
最可几速率:根据麦克斯韦速率分布规律,可以从理论上推得分子速率在vm处有极大值,vm称为最可几速率2 1.41,Vm速度分布
平均速度:8m
RT
m
1.59RT,分子运动平均距离
均方根速度:
3 RT
1.73平均动能
真空的划分:粗真空、低真空、高真空、超高真空。
真空计:利用低压强气体的热传导和压强有关; (热偶真空计)
利用气体分子电离;(电离真空计)
真空泵:机械泵、扩散泵、分子泵、罗茨泵 机械泵:利用机械力压缩和排除气体
扩散泵:利用被抽气体向蒸气流扩散的想象来实现排气作用 分子泵:前级泵利用动量传输把排气口的气体分子带走获得真空。
平均自由程:每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为自由程;其统计平均值成为平均自由程。
常用压强单位的换算 1Torr=133.322 Pa 1 Pa=7.5×10-3 Torr 1 mba=100Pa 1atm=1.013*100000Pa 真空区域的划分、真空计、各种真空泵
粗真空 1×105 to 1×102 Pa 低真空 1×102 to 1×10-1 Pa 高真空 1×10-1 to 1×10-6 Pa 超高真空旋转式机械真空泵 油扩散泵 复合分子泵
属于气体传输泵,即通过气体吸入并排出真空泵从而达到排气的目的 分子筛吸附泵 钛升华泵 溅射离子泵 低温泵
属于气体捕获泵,即通过各种吸气材料特有的吸气作用将被抽气体吸除,以达到所需真空。 不需要油作为介质,又称为无油泵 绝对真空计:
U型压力计、压缩式真空计 相对真空计:
×10-6 Pa <1