薄膜物理与技术复习资料

2021-01-20 18:47

第一章

最可几速率:根据麦克斯韦速率分布规律,可以从理论上推得分子速率在vm处有极大值,vm称为最可几速率2 1.41,Vm速度分布

平均速度:8m

RT

m

1.59RT,分子运动平均距离

均方根速度:

3 RT

1.73平均动能

真空的划分:粗真空、低真空、高真空、超高真空。

真空计:利用低压强气体的热传导和压强有关; (热偶真空计)

利用气体分子电离;(电离真空计)

真空泵:机械泵、扩散泵、分子泵、罗茨泵 机械泵:利用机械力压缩和排除气体

扩散泵:利用被抽气体向蒸气流扩散的想象来实现排气作用 分子泵:前级泵利用动量传输把排气口的气体分子带走获得真空。

平均自由程:每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为自由程;其统计平均值成为平均自由程。

常用压强单位的换算 1Torr=133.322 Pa 1 Pa=7.5×10-3 Torr 1 mba=100Pa 1atm=1.013*100000Pa 真空区域的划分、真空计、各种真空泵

粗真空 1×105 to 1×102 Pa 低真空 1×102 to 1×10-1 Pa 高真空 1×10-1 to 1×10-6 Pa 超高真空旋转式机械真空泵 油扩散泵 复合分子泵

属于气体传输泵,即通过气体吸入并排出真空泵从而达到排气的目的 分子筛吸附泵 钛升华泵 溅射离子泵 低温泵

属于气体捕获泵,即通过各种吸气材料特有的吸气作用将被抽气体吸除,以达到所需真空。 不需要油作为介质,又称为无油泵 绝对真空计:

U型压力计、压缩式真空计 相对真空计:

×10-6 Pa <1


薄膜物理与技术复习资料.doc 将本文的Word文档下载到电脑 下载失败或者文档不完整,请联系客服人员解决!

下一篇:劳保用品发放记录

相关阅读
本类排行
× 注册会员免费下载(下载后可以自由复制和排版)

马上注册会员

注:下载文档有可能“只有目录或者内容不全”等情况,请下载之前注意辨别,如果您已付费且无法下载或内容有问题,请联系我们协助你处理。
微信: QQ: