MEMS传感器在手机上的应用(3)

MEMS

一、什么是MEMS传感器？微机电系统(Microelectromechanical Systems,MEMS)是将微电子技术与机 械工程融合到一起的一种工业技术，它的 操作范围在微米范围内。 MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、 执行器以及信号处理和控制电路、接口电 路、通信和电源于一体的微型机电系统。