MEMS传感器在手机上的应用(9)

MEMS

3、MEMS应用研究人们不仅要开发各种制造MEMS的技术， 更重要的是如何将MEMS技术与航空航天、 信息通信、生物化学、医疗、自动控制、 消费电子以及兵器等应用领域相结合，制 作出符合各领域要求的微传感器、微执行 器、微结构等MEMS器件与系统。