MEMS传感器在手机上的应用(6)

MEMS

三、MEMS研究内容MEMS技术的目标是通过系统的微型化、 集成化来探索具有新原理、新功能的元件 和系统。MEMS技术是一种典型的多学科 交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然 及工程科学的所有领域，如电子技术、机 械技术、物理学、化学、生物医学、材料 科学、能源科学等。其研究内容一般可以 归纳为以下三个基本方面。