MEMS
尺度范围跨度比较： MEMS的尺度约为病毒(80nm)到花生(2cm) 范围，其尺寸跨度与珠穆朗玛峰(8km)到花 生(2cm)相当。
NEMS MEMS Microtechnology Nanotechnology [1cm,0.1μm] <100nm
km 珠穆朗玛峰 8km
m 人类 1.7m
mm 蚂蚁 3mm 头发 75μm
μm 细胞 5μm
nm 原子 0.1nm
MEMS传感器在手机上的应用(5)
2021-02-21 12:03
MEMS传感器在手机上的应用(5).doc
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