ESD作业规范 - 图文

文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 1 OF 28 REV 2.0 ESD防静电控制技术规划 1. 目的 本文件旨在规定ESD防静电控制技术规范，为产品在元器件进料、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。 注：ESD是英文“Electro Static Discharge”的缩写，意思指静电放电（ 静电瞬间泄放）。 2.适用范围 ESD小组 ESD主委 本规范适用于公司科技内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。 3.职责： 3.1 公司ESD组织结构和职责 公司公司ESD控制组织结构框图： 3.1.1 公司ESD控制的组织结构分为主委、ESD小组和执行部门。主委负责整体规划公司/工厂ESD工作。 3.1.2 ESD小组负责人为公司ESD协调者，负责公司ESD标准的制定、修改和组织结构、管理制度的建立，监督标准的实施。 ESD小组负责公司各执行部门ESD日常执行状况的监督，生产现场规划防静电设计、新 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 2 OF 28 REV 2.0 架设的生产线防静电设施验收，公司纳入防静电材料、物品、设备、仪器等防静电品 的验收。ESD的点检测试有ESD各部门执行人员完成。 3.1.3 执行各部门负责标准的实施、检查、纠正和反馈职能。稽查工作由ESD小组和执行层共同完成。防静电物流周转工具由执行层各使用部门负责保管、实施和维护。 3.1.4 工程部负责公司各部门ESD设备异常的对应、维修、保养及新开产线静电接地线架设。 3.1.5 测试仪器的维护校准工作由仪器计量室负责。公司公用ESD测试仪器由ESD小组统一保管。 4. 器件敏感分类解释 4.1 静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM、MM、CDM三种模式来进行分类。一般来说，器件的 静电敏感电压的高低在三种模式之间没有必然的对应关系。没有特殊说明时，本指引主要 以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。静电敏感组件的敏感等级按照其上所安 装的最敏感器件的敏感等级来确定。最初器件的ESD损伤主要采用HBM进行分析，随着电子技术和生产工艺的不断发展，MM和CDM类型的ESD对器件的危害也越来越普遍，，因此采用MM和CDM模式对静电敏感器件进行分析的方法逐渐发展普及起来。 4.1.1 人体放电模式 (Human-Body Model, HBM)的静电敏感等级分类 静电敏感器件等级普遍采用人体模式静电放电进行划分（人体带电和器件接触放电），所有的静电敏感器件或组件按照人体模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级： HUMAN BODY MODEL CLASS VOLTAGE RANGE Class 0 0 volts to ≤249 volts Class 1A 250 volts to ≤499 volts Class 1B 500 volts to ≤999 volts Class 1C 1000 volts to ≤1999 volts Class 2 2000 volts to ≤3999 volts Class 3A 4000 volts to ≤7999 volts Class 3B 8000 volts to ≤15999 volts 非静电敏感器件 ≥16000 volts 4.1.2 机器放电模式 (Machine Model, MM)的静电敏感等级分类 器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析（带电金属和器 件接触放电），静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为 以下几个等级： 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE MACHINE MODEL CLASS VOLTAGE RANGE M1 ＜100 volts M2 100 volts to ＜200 volts M3 200 volts to ＜400 volts M4 ≥400 volts 3 OF 28 REV 2.0 4.1.3 器件充电模式 (Charged-Device Model, CDM)的静电敏感等级分类 器件静电敏感等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析，静电敏感器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级： CHARGED DEVICE MODEL CLASS VOLTAGE RANGE C1 ＜125 volts C2 125 volts to ≤250 volts C3 250 volts to ≤500 volts C4 500 volts to ≤1000 volts C5 1000 volts to ≤1500 volts C6 1500 volts to ≤2000 vol 5. 静电防护区域（EPA）的界定和标识 5.1 Electro Protected Area, EPA（静电防护区域）的划分 EPA必须具有如下的基本环境要求 5.1.1 明确的区域界限和防静电警示标志； 5.1.2 对区域内的所有导体包括人员可靠接地； 5.1.3 消除一切不必要的静电产生源； 5.1.4 严重静电源（拉伸膜、白色塑胶等）至少100cm，非不可避免的静电源必须远离30cm. 5.1.5 进入本区域应作好人员防静电要求，包括有防静电功能的工衣、工帽、工鞋（鞋套）、 腕带或静电手套、静电指套并作人体综合电阻测试合格后才能进入。 5.1.6未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入内； -100V)EPA区域和二级(HBM500-1000V)EPA区域防护要求为： 5.2.1特级EPA为静电放电严格控制区域，生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以及静电高敏感级别的产品的制造区应划分为特级EPA。生产区域射频及光器件产品的PCBA及模块的加工环节，如：预配及拣料区域、单板加工、单板测试、单板模块组装、单 板模块维修、无尘室（如EDFA、光电模块）或带PCB板的半成品等; 如有其它产品的 ，本公司EPA静电敏感度等级防范要求为特级（HBM50 5.2 根据公司产品器件的静电敏感度等级 静电敏感度小于HBM100V，也应放在特级EPA生产。 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 4 OF 28 REV 2.0 5.2.2 二级EPA为基本的静电放电控制区域，涉及静电敏感物料的各个生产操作区域至少要定义为二级EPA区域，必须实施最基本的静电放电控制措施。 生产区域单板模块库房、整机组装、调测、包装、逆向库房、单板模块老化、环境实验室； 器件在库房内不进行拆包，则可设置为二级EPA。 5.3静电防护区域基本控制措施 静电防护区域基本控制措施要求按照下表实施： EPA等级 特级EPA 二级EPA ESD控制措施 静电电压控制标准 防静电标识 静电地板或地垫 温/湿度仪器 防静电桌垫 防静电工作椅 防静电腕带 防静电工作手套、指套 防静电工作鞋 腕带测试仪和人体电阻测试仪 ESD数据采集系统 ESD门禁系统 静电消除器（如：离子风机） 接地系统监控仪 防静电烙铁 防静电吸锡器 其它用于产品的常用装配、调试及辅助工具防静电处理 静电电压测试仪 50-100V √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ 500--1000V √ √ √ √ √ ○ ○ √ √ ○ ○ ○ ○ √ √ ○ √ 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 表面电阻测试仪 离子风机测试仪 防静电周转工具 防静电包装材料 防静电作业指导书袋 防静电文件夹 防静电液 必要的静电产生材料禁止带入EPA 区域外或独立区域对非防静电包装进行拆包 √ √ √ √ √ √ ○ √ √ 5 OF 28 REV 2.0 √ ○ √ √ ○ ○ ○ ○ √ 说明：“√”—表示全部要求；“○”---表示可选或部分要求 5.4防静电标识要求 为提高人员的防静电意识，防止因标识不清发生不符合静电安全的操作与静电危害，要求防静电区域（EPA）、防静电设施、器材等防静电物品，以及静电敏感器件及组件等有关包装上应标注有醒目的ESD标识，以便提醒员工采取合适的ESD防护措施，减少静电风险，（防静电标识严格按照标识管理规定执行） 提高产品质量。5.5 静电敏感区域的工程环境防静电规范 5.5.1 防静电工程环境的要求： SMT车间温度要求保证在22℃~28℃，相对湿度 (RH)：30%~60%； 其它区域温度：10℃~30℃，相对湿度 (RH)：30%~75%； 当产品物料及生产环境对环境温湿度有特殊要求时，应根据产品物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。 EPA内应配备温度计和湿度计，如果是不具备数据采集功能的普通温湿度计，则要求在每班次作二次记录（超标数值用红色笔标出）。当相对湿度超出规定的范围时，应暂时停线并及时通知相关联部门人员协调动力维护、环卫等采取适当的加湿或抽湿措施。 5.5.2 每月的温湿度记录应归类保存，保存期至少1年。 5.6 地面的技术要求 5.6.1地板的防静电要求:为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除操作人员穿防静电服、防静电鞋外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。 这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电，也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人