文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 11 OF 28 REV 2.0 该电阻的选择原则是，一方面应保证操作业者在触及高电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮肤上 5.7.8 临时或外来人员的防静电管理 5.7.8.1 临时(外来)人员，包括参观人员、非本车间联系工作人员、临时施工人员(包括 的静电小于100V，一般该电阻阻值取为1MΩ。 5.7.7.3 腕带防静电性能参数要求：参照5.10.3.1项； 静电泄放至100V以下的时间：小于0.1s ； 腕带佩带方法：将腕带佩戴于手腕处，不能松动，手腕感觉四周握紧。保证手腕带内表面金属面与皮肤良好接触，接地线与ESD接地点连接。腕带接地应采用香 蕉插头、插孔的连接方式，双回路和单回路手环不可混插入插孔内。 5.7.7.4 因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，禁止使用无绳腕带。 5.7.7.5每班次开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作； 5.7.7.6 静电手环必须编号管理；腕带和腕带连接线分别用蓝色油性笔（使用小头写）写 上使用者工号进行编号，双回路手环同样，两者必须配套使用（如下图）。 电工、修理工、装饰工等)，进入防静电区域时，要求按作业员工标准进行静电
文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 防护实施； 12 OF 28 REV 2.0 5.7.8.2 临时(外来)人员在参观过程中原则上只能沿通道行走，不得靠近或接触产品。需 要接触制品或成品、部品的临时或外来工作人员，佩戴腕带必须通过腕带测试并记录、戴静电手套才能接触含有静电敏感器件的制品或成品、部品； 5.7.8.3 防静电区域内需要进行某种维护、修理作业时，维护人员应携带并使用防静电维修设备，并遵守防静电区域的有关规定； 5.7.8.4 在生产区域入口处设置放置外来人员静电防护物品的场所。 5.8静电防护区域的防静电操作规范 5.8.1 所有的ESSD(静电敏感器件)及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行； 5.8.2进入EPA防护区域的所有电子元器件都应视为ESSD来对待； 5.8.3贮存和运输ESSD及其部件时，应妥善进行防静电包装； 5.8.4拒绝接受未包装在防静电容器里的ESSD； 5.8.5所有用非ESD材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域，经过拆包和静电泄放处理后，方可用防静电中转工具将其转到静电敏感区域； 5.8.6不允许在EPA区域内存放和处理非ESD的材料，不允许在非静电敏感区域内存放和处理未包装的ESSD，不允许非ESD的材料与ESSD混放； 5.8.7进入EPA区域的人员，都要必须穿好防静电工作服，必须戴上防静电环，腕带必须与皮 肤有良好接触并将腕带接入可靠的防静电接地系统中，防静电鞋和脚必须与防静电 地板或ESD地垫保持良好接触，防静电帽也必须按规定戴好，防静电手套和指套按相关 要求进行佩戴； 5.8.8重要工位上应配备腕带监控器，以随时监控腕带是否处于正常状态； 5.8.9不得随意拆除和改变ESSD的封装，运送全过程应在防静电容器中进行，清点也尽可能在原包装内完成； 5.8.10 测试ESSD时必须遵守加电和去电顺序，严禁带电插拔ESSD； 5.8.11 持ESSD，应持其外壳两端，严禁人手触及其引脚或接线片，特别是空悬的输入端； 5.8.12 ESSD器件的引脚或接线片，特别是空悬的输入端不可放在金属桌面上，容易引起导通，短路等ESD事件，从损坏ESSD器件； 5.8.13 装配ESSD时，尤其是MOS管等静电敏感器件，应戴上防静电手套或指套； 5.8.14清洁ESSD及其部件时，不得使用塑料刷； 5.8.15不具备防静电功能的必备工具和用具，应放在防静电桌垫上，并应置于离子风机的作用范围内； 5.8.16 操作时应尽量减少对ESSD及其部件的接触次数； 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 13 OF 28 REV 2.0 5.8.17组装电子产品和设备时，如果需要使用电动批，应使用有接地线的低压直流电动批； 5.8.18在手工焊接时，应采用防静电低压恒温烙铁； 5.8.19禁止重复使用ESSD器件包装管来包装ESSD器件； 5.8.20原包装标识为静电敏感的元件其散料必须使用防静电材料盛放和包装； 5.8.21 ESSD器件初始包装应在EPA区域内完成，并要用防静电材料包装。完成了初始包装的ESSD器件进行二次包装时可以在非ESD区域内完成，也需要防静电材料； 5.8.22禁止使用超过有效期的防静电材料来接触或包装ESSD器件； 5.8.23在任何场合均不允许未采取防静电措施的人员接触ESSD及其部件； 5.8.24 生产过程中使用的设备必须采取接地等防静电措施； 5.8.25 运输ESSD及其部件时，应将其放入防静电包装内进行，必要时，应用离子风机来消 除在运输过程中产生的静电； 5.8.26新布置的生产线或工位等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用； 5.8.27 新投入EPA区域的防静电材料，包括主料，辅料和包装材料都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用； 5.8.28 新投入EPA区域的防静电工具等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。 5.9 EPA区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范 5.9.1 基本防静电要求 防静电工作区内的各种设备、工具、工装仪器都应实施静电防护措施，如接触元器件 的部分应使用防静电材料(体积电阻1×103≤Rs＜1×109Ω)， 对非防静电材料(表面电阻 >1*1012Ω)应采用静电中和或喷涂防静电涂液等其他防护措施进行有效的接地。 5.9.2 防静电工作台的技术要求 防静电工作台是防静电工作区的主要组成部分，下面所示为标准的防静电工作台构成 图： 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 14 OF 28 REV 2.0 其中各组成部分的主要技术要求如下 5.9.2 .1 工作台垫和地板均应采用防静电材料。静电台垫表面电阻为：1*106Ω≤Rs＜1*109 Ω地板的表面电阻为：1×104≤Rs＜1×109Ω静电泄放至100V以下的时间小于1S； 5.9.2 .2 防静电腕带的接地电阻为0.75×106≤Rg≤35×106； 5.9.2.3 防静电工作椅:防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意一个导体脚轮的电阻应该满足＜1×109Ω（不依赖于相对湿度），工作椅系统接地电阻应满足＜1×109Ω；工作椅表面的摩擦电压必须小于100V或高静电电压泻放到100V以下的时间小于2秒； 5.9.2.3 离子化：在不能有效泄放静电的场合，可采用离子化通过电离空气产生的正负离子，来防止和中和在元器件上及其它物体上的电荷积累。离子风机应按照仪器的使用说明书正确安装操作，如离子风的方向、作用范围、作用距离，定期保养及检测离子平衡度和电荷消散时间。 5.9.2.4 增湿器：当相对湿度较低时，可恰当的使用增湿器，通过恒定的潮湿气流，防止静电荷积。但此方法不适于非密封电子元器件。操作时要注意因湿度增加而导致的有害影响； 5.9.2.5 接地系统：包括限流电阻和连接端子，应连接可靠，并具有一定的载流能力。限 流电阻阻值的选择应保证漏泄电流不超过5mA。防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，接地电阻小于4Ω。防静电地线不得与电源零线相接，不得与
文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 15 OF 28 REV 2.0 防雷地线共用。另外，工作台面、地垫、其它ESD保护设施均应通过限流电阻接至公共地线，腕带应通过工作台顶面接地点与地线连接。工作台不能相互串联接 （ NG图片 ） （OK图片正反面） 5.9.5 防静电工作台接地要求 5.9.5.1 防静电工作台的台垫，并联静电扣进行接地(即软接地)； 5.9.5.2接地电缆应采用中间无接头、且具有足够的机械强度； 5.9.5.3多台防静电工作台的接地线不能相互串接； 5.9.5.4 防静电工作台上的测试仪器、电动工具、和电离器等所有外部件表面、屏蔽面均应接地，对地线配置系统电阻值不大于4Ω， 所有接地点应集中接于一点，就近牢固搭接至地线系统上； 5.9.6设备、金属外壳接地 5.9.6.1为带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型，以使其配接时工具和设备的金属外壳能够自动接地且接地脚要首先接地，断电时接地 地，而应分别接地。 5.9.3 工作台的电气要求 静电源静电电位泄放至100V以下的时间小于1S，静电防护操作系统的电阻上限为109ohm ，防静电操作系统的泄放电流不得超过5mA，为此防静电操作系统的的电阻下限为106ohm绝缘体上的静电采用离子风机中和加以消除。 5.9.4 工作台的安装(配置)要求 5.9.4.1按照工作台面的大小选择所需的防静电台垫的尺寸； 5.9.4.2从防静电台垫正面压下星爪，使其完全穿过台垫，星爪反扣，以保证接触良好； 5.9.4.3将经过以上准备好的防静电台垫平整的铺于工作台面上； 5.9.4.4将工作台置于防静电地板上； 5.9.4.5全部安装完毕后，对各参数指标进行检验合格后，方可开始使用。 脚最后断开；