文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 21 OF 28 REV 2.0 金属和普通塑料容器。防静电周转箱、托盘在统一位置要有ESD标识；防静电容 器每年检测一次，标准参照5.10.3.1项，测试仪器是兆欧表； 周转台车接地链示意图 5.10.4.5 防静电台车、周转车：转运、暂存ESSD或含有ESSD的整、部件产品时，应使用有防静电性能的周转车。为保证接地良好，要求在车底加装接地金属链使用，铁链垂拖在静电地板3CM以上；应避免导电车轮脱离地面的情况出现，定期清洁导电轮，一般每周一次。防静电周转车每月检测一次，标准参照5.10.3.1项，测试仪器是绝缘电阻测试仪。 5.10.4.6 静电消除器(离子风机)：在不能有效泄放静电的场合，可采用电离器通过电离空气产生的正负离子，来防止和中和在元器件上及其它物体上的电荷积累。要求电离器对静电电压的消除能力大于100V/s。消除绝缘材料表面的静电荷应使用离子静电消除器； 使用方法:离子风扇应置于离工作台操作区域300mm-- 600mm 处，将电源插头插入220VAC插座，顺时针旋转风速旋扭，此时红色电源指示灯亮表示已启动离子风扇，可根据实际需要调节风速大小，可通过固定支架上指旋固定螺丝调整风扇的倾斜角度，将风量至少设定中档并定位，不可随意调动。 （ 如图） 5.10.5注意事项
文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 5.10.5.1在使用过程中不可将杂物插入风扇内部； 5.10.5.2不可在易燃.可爆炸气体环境中使用； 5.10.5.3在使用过后应将风扇旋扭调置Off处； 5.10.5.4搬运过程中请轻拿轻放，不可私自折装此仪器； 5.10.6维护保养 22 OF 28 REV 2.0 5.10.6.1每周用静电消除器自带的毛刷，通过顺时针和反时针旋转毛刷的式来清洁该设备的发射针，或用棉签蘸酒精清洁发射针，清洁前一定要先拔掉电源线，由工程部技工或各部门ESD执行人员负责； 5.10.6.2如果检查结果显示超标，应送厂家维修； 5.10.6.3检查标准见本文件5.10.3.1项 5.10.7 静电源的识别 5.10.7.1 摩擦电压超出EPA区域管理电压规格的物品或摩擦电压未能在1S内泄放至管理 电压内的物品统称为静电源； 5.10.7.2 使用静电场测试仪MODEL 520对物品测试进行静电源识别，操作方法参照5.10.9.4 项； 5.10.7.3 对不符合EPA区域管理电压要求的物品进行清除或把物品改成防静电品； 5.10.7.4 对必须要使用又不能改成防静电的物品，如显示器、键盘、工具和装备上的静电 源、特别是必须进入EPA的高静电生产物料（如不防静电的包装材料，产品上的塑料制品等）。防静电处理的主要措施有离子化、防静电剂、屏蔽、接地等。工装和装备中、操作测试过程中有静电难以消散的静电源应考虑使用静电消除装置（如离子风机）或使用防静电液进行喷涂； 5.10.7.5 防静电清洗液:在使用时，应先与挥发性溶剂或水调配成0.1~0.2%的溶液，然后 用涂布、喷雾、浸渍等方法使其附着在塑料制品外表面。在作涂布等处理前，应先对塑料制品的外表面进行预处理，即用水或中性溶剂清理外表面，再进行使用防静电液。 5.10.7.6 原则上不允许高静电产生材料进入EPA区域，因实际需求必须进入EPA的高静电产生材料需要进行适当的控制，使静电风险减至最小； 5.10.7.7对于客观情况造成的EPA区内的高静电情况，可以采取分区隔离的方法，保证EPA内任何超过静电管理电压的物体应该保持距离静电敏感器件30cm以上，并使EPA外部的高静电源远离EPA 1m以上距离。 5.10.8 其他 5.10.8.1防静电毛刷使用； 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 5.10.8.2防静电海棉使用； 5.10.8.3防静电镊子使用； 接地电阻 静电电压 静电电压测试仪 5.10.8.4防静电胶带使用； 23 OF 28 REV 2.0 5.10.8.5 以上4项材料电阻应满足1.0*104Ω≤R＜1.0*1011Ω，摩擦电压小于100V或高电压2S以内耗散到100V以内； 5.10.8.6 工具手柄的电阻值应满足1.0*106Ω≤R＜1.0*1011Ω 5.10.9 防静电参数测试方法 5.10.9.1防静电主要参数及测试仪器 测试项目 表面电阻 接地电阻测试仪、万用表 测试仪器 兆欧表 检验所使用的仪器必须经计量检定合格（有准用标签），并在有效期内 5.10.9.2 防静电测试仪器介绍 公司专用防静电测试仪器主要有：兆欧表、静电压测试仪、简易表面电阻测试仪、 PC27-7H 型号为PC27-7H的兆欧表，配有两根连线和2.26Kg重的测试电极两个，具有电 腕带测试仪、人体综合电阻测试仪、接地电阻测试。 5.10.9.3 绝缘电阻测试仪(兆欧表) 公司兆欧表的型号PC27-7H 参见下图 压700V\\100V\\500V三个档位，防静电工程电阻测量时, 将测试棒插入绝缘电阻文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 24 OF 28 REV 2.0 表的EARTH和LINE两端,同时将功能开关拔至所需的电压档位（100V~500V ）， 将测试棒分别与防静电工程电阻测量标准电极连接，两个电极之间要保持适当的 距离，以便测试出的数据更准确。读数单位为MΩ，1MΩ=106Ω,测试时显示为两位数时,被测电阻=示值×10MΩ;当测试显示三位数时,被测示值=示值×100MΩ。适用于测试平面材料，通过测试结果可以分辨被测材料为导体类、静电耗散类和绝缘类。此种兆欧表可以测试材料表面电阻、体积电阻，两根连线把兆欧表和两个测试电极连接起来，两个电极放置在材料的同一表面即可测试表面电阻， 两个电极放置在材料的两个表面的相对位置可以测试体积电阻；交流电压测量时，将测试棒插入ACV和COM的两端，将功能选择开关拔至AC 700V的档位，打 开电源开关，将测试棒接入被测试的电压点，然后读数即可。 5.10.9.4静电场测试仪 公司使用的静电场测试仪为高精度型MODEL 520，采用非接触型的电场感应测试方 式。为了提高测试的准确性，测试时将仪器接地； a、MODEL 520的的测试量程＜2KV，精确度为1V，测试距离为:5mm—25mm,适于平面和某点电场精确测试； b、测试仪左侧POWER键为开关键，右侧HOLD键为读数键 上图 静电场测试仪MODEL 520 5.10.9.5 腕带测试仪、人体综合电阻测试仪、接地电阻测试仪参考具体的工作指导书。 6.引用文件 以下文献作为参考 《电子产品防静电放电控制大纲》GJB1649-93 《电子设备制造防静电技术要求》 SJ-T10533-94 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 《电子元器件制造防静电技术要求》 SJ-T10630-95 《防静电地面施工及验收规范》 SJ-T31469-2002 《防静电工作服》 GB12014-1989 《防静电工作区技术要求》 GJB3007-97 《防静电周转容器通用规范》SJ-T11277-2002 《防静电腕带技术要求》ANSI/ESD S1.1 25 OF 28 REV 2.0 《防静电鞋导电鞋技术要求》 ANSI/ESD STM97.1、ANSI/ESD STM97.2 7.记录表单 7.1《人体综合电阻点检记录表》、《静电手环点检记录表》、《温湿度点检记录表》、 《传送带点检记录表》、《静电点检记录表》等及其它ESD相关确认点检记录表 7.2 所有表格有各区域组长、助拉、指定人员或各部门ESD执行人员填写，月底审核由各部门 主管进行（表格右下角注明ESD专员确认的需要提供给ESD专员进行确认），需要批准的 8. 附录 由各部门经理进行批准。 7.3 ESD测试记录每月22号完成，每月需要ESD专员确认的表格23号提供送附，月底前通知各部门ESD执行人员领回，并进行审核、批准，有仪器校准的现象视情况延时。 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 26 OF 28 REV 2.0 对ESD敏感的元器件组成部份 （参考件） 32半导体结1MOS 结构序号元器件组成部分元器件类别MOSFET（分立的）MOS集成电路有金属跨接的半导体器件数字集成电路（双极和MOS）线性集成电路（双极和MOS）MOS 阻容器混合电路线性集成电路失效机型 失效标志电压引起的介质击穿和短路（漏电接着发生的大电流现象大）二极管（PN、PIN、肖特基）双极晶体管结型场效应晶体管由过剩能量和过热引起可控硅 数字、线性双极集成电的微等离子体二次击穿路，的微扩散输入保护电路：用于分立MOS场效应管各MOS集成电路介质击穿，与电压有关混合集成电路：厚膜电阻 薄膜的电流通路，与焦尔热电阻 单片集成电路－薄膜电阻能量有关的微电流通路器 密封薄膜电阻器的破坏混合集成电路 单片集成电路与焦尔热能量有关的金梳状覆盖式晶体管属烧毁 薄膜电阻器电阻漂移 4金属化条场效应结构和非导电性盖板压电晶体开路5采用非导电石英或陶瓷封盖板的由于ESD使正离子在表 工作性能集成电路和存储器，特别是面积垒，引起表面反型退化EPROM或栅阀值电压漂移晶体振荡器 声表面滤波器件当所加电压过大时由于工作性能退机械力使晶体破裂化67声表面波器件 无钝化层覆盖的电极间的间距较电弧放电使电极材料熔 工作性能薄膜金属无保护的半导体器件和小部位融退化微电路