成都蓝克环保清洗工程有限公司
乐山多晶硅项目生产装置及管线
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化 学 清 洗
方 案
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目 录
一、方案编制依据 二、化学清洗的目的 三、化学清洗范围及分类 四、清洗前的准备工作 五、清洗站及临时管网建立 六、化学清洗步骤及监控分析 七、清洗药剂的监测与分析 八、化学清洗质量要求与保证措施 九、化学清洗废液的处理 十、清洗过程中安全措施 十一、化学清洗总结报告 十二、方案说明 十三、附录；
1、 多晶硅生产装置及管线化学清洗用设备仪器、材料2、多晶硅生产装置各单元清洗工作量汇总表
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1、方案编制依据
1.1本化学清洗方案是根据四川新光硅业科技有限责任公司提供的下列文件、资料和图纸，并参照中华人民共和国化工行业标准而编写制定的；
1.1.1 根据贵方提供标书中对多晶硅生产装置及管线安装前预清洗要求； 1.1.2 多晶硅生产装置有关单元平面图； 1.1.3 多晶硅生产布置图及生产管线布置图；
1.2 根据中华人民共和国化工行业标准HG/T2387-92，《工业设备化学清洗质量标准》； 1.3 参照中华人民共和国电力行业标准DL/T794-2001《火力发电厂锅炉化学清洗导则》； 1.4 本方案中主要介绍了多晶硅生产装置及管线化学清洗操作规范和一些基本要求； 1.5 我公司清洗技术在大型化工装置及其它特种设备中的应用和研究。 2、化学清洗的目的
多晶硅生产装置是一个生产工艺复杂，生产装置种类众多，对生产设备的洁净度要求很高，生产工艺要求非常严格的化工生产系统。新设备在生产、运输和装配过程中会产生油污、泥沙、表面涂层、铁锈、轧制鳞皮、灰尘、焊渣等附着物。四川新光硅业科技有限责任公司多晶硅生产装置的设备及管线在制造厂家虽然都进行酸洗钝化，但由于各方面的原因，仍然会产生灰尘、锈渣等污染物，而且设备及管线未进行脱脂难以达到生产的要求。根据以上情况，为了有效地减少生产系统调试时间，避免生产中因纯度引起的不必要停车，最大限度地降低调试费用，缩短开车日期，必须有序的作好多晶硅生产装置及管线的安装前预清洗工作，使之与生产工艺流体接触的全部金属表面达到合乎要求的清洁度，为装置安全、高效地运行创造良好的条件。 3、化学清洗范围及分类
化学清洗范围及分类主要包括下列单元； 3.1.多晶硅生产设备；
3.1.1 1号厂房HCL合成6台多晶硅生产设备清洗按标书中“一般清洗要求”执行； 3.1.2 1号厂房SiHCL3合成42台多晶硅生产设备清洗按标书中“干净清洗要求”执行； 3.1.3 2号厂房前级提纯塔64台多晶硅生产设备，罐区39多晶硅生产设备，后级提纯塔133多晶硅生产设备清洗按标书中“洁净清洗要求”执行；
3. 2 工艺介质管线；用于1、2号厂房输送工艺介质（氢气、HCl、氯硅烷、工艺氮气、工艺空气）的管道清洗按标书中“洁净清洗要求”执行。
3. 3机泵；3级精馏塔前工艺部分用于输送工艺介质的泵清洗按标书中“干净清洗要求”
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执行。3级精馏塔后工艺部分用于输送工艺介质的泵清洗按标书中“洁净清洗要求”执行。用于输送蒸馏水的泵清洗按标书中“一般清洗要求”执行。用于其它介质的泵清洗要求：用清水冲洗干净既可。
3.4仪表；用于1、2号厂房主工艺介质（含H2、N2、Cl2、HCl、空气或氯硅烷）流经的设备和管路上的会与介质直接接触的仪表（包括调节阀、开关阀、流量计、压力表、温度计、液位计等），清洗按标书中“洁净清洗要求”执行。除去上述规定范围的仪表，其余仪表清洗按标书中“干净清洗要求”执行。
3.5手动阀门；用于1、2号厂房主工艺介质（含H2、N2、Cl2、HCl、空气或氯硅烷）流经的设备和管路上的会与介质直接接触的阀门清洗按标书中“洁净清洗要求”执行。 4、清洗前的准备工作
4.1、在清洗前，须将被清洗系统中不允许参与清洗的部件，如流量计、液位计、孔板、 文丘里管、调节阀、过滤器、单向阀等均应拆除或抽芯，采取加临时短管、临时旁路及盲板等措施对拆除部位进行处理；
4.2、关闭并隔离与清洗系统无关的阀门，以防止清洗液外漏；
4.3、拆除部位应挂牌并标明位置，对拆下的管路及设备附件，按要求进行单独处理，以备清洗后安装复位；
4.4、准备好化学清洗所需的各种清洗药剂，并完成药剂的质量检测工作，确保药剂的质量；
4.5、为检查清洗效果，被清洗系统应安装测试接头和分析采样点，安装在临时系统中的温度、压力及分析仪器等应计量合格后方可使用；
4.6、对清洗系统中的所有阀门进行统一编号，并悬挂在阀门上；
4.7、对现场技术人员和施工人员进行培训，熟悉清洗工艺流程及操作规范； 4.8、选定腐蚀测试挂片挂置点，腐蚀测试挂片和监测管段应称重、制作完毕； 4.9、将并联的被清洗设备和管线暂时改为串联，必要时应加限流控板，使各部位管路清洗流量、流速基本相等；
4.10、化学清洗前被清洗设备和管线做系统水压试验和系统空气吹扫； 4.11、公用工程（由厂方提供）
4.11.1、水：软化水和除盐水，氯离子含量小于５０mg/L,流量３００ M3；
清洗过程
用水量为清洗系统水容积的倍数 4
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2～3倍 3～5倍 2～3倍 7～11倍 脱脂及随后的水冲洗（除盐水） 酸洗及随后的水冲洗 (除盐水) 漂洗中和钝化及冲洗（除盐水） 总用水量 4.11.2、电：动力电源：380V、55KW；
照明电源：220V、5KW；
4.11.3、蒸汽：压力1.0Mpa、流量5T/H；
4.11.4、氮气：干燥、无油、压力0.5～0.7Mpa、纯度99%以上。
5、清洗站及临时管网建立
临时清洗系统的配置包括，清洗泵站的选型和临时进回液的连接；
5.1清洗泵站如图1-1配置，循环清洗泵、清洗槽及废液槽的型号及规格，应根据清洗对象的容积、位置选定。临时管线可根据清洗泵进出口尺寸确定；
5.2清洗泵站应具备正反向循环切换，自循环配液等功能；
5.3根据设备的规格尺寸和洗涤方式等确定清洗循环回路。清洗可采用低点进液高点回液的循环流程，并在最高点设置排气孔，以防止产生气阻，而使清洗液不能充满被清洗系统。同时设置低点导淋排污点，以便排尽残液；
5.4在设计清洗工艺流程时，不能有清洗盲区和清洗死角出现。
图
6、化学清洗步骤及监控分析
所有清洗的设备管线都经制造厂家酸洗钝化，因此根据清洗要求不同，不同清洗设备管线清洗工艺按不同方案实施。
对一般清洗的设备及管线，化学清洗步骤为：系统水冲洗及检漏→脱脂处理→脱脂后水冲洗→干燥复原封存
对干净清洗的设备及管线，化学清洗步骤为:系统水冲洗及检漏→脱脂处理→脱脂后水冲洗→酸洗→酸洗后水冲洗→中和钝化→干燥复原封存
对洁净清洗的设备及管线,化学清洗步骤为:系统水冲洗及检漏→脱脂处理→脱脂后水冲洗→酸洗→酸洗后水冲洗→漂洗→中和钝化→干燥复原封存
清洗步骤顺序
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