OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明(2)

2019-04-14 13:02

分解4 拆下Grid Assy. 2 Grid Retainer Plate 六角螺钉(M4×L6) 作業内容 拆下六角螺钉後,再拆下Grid Assy. 和Grid Retainer Plate. 注意点

分解5 Grid的分解 六角螺母(M4) 六角螺母(M3)和六角螺钉(M3×L5) 作業内容 拧松Grid Assy.的六角螺母后,分解Grid。拆下ACC Grid 的ACC Connector。 分解6 Grid的说明 注意点 请注意Grid很容易变形。 GRID № 校正孔 校正孔 Grid No. S○○○: Screen Grid A○○○: Acc Grid D○○○: Decel Grid (○○○为制造番号) 只有1个地方方向不同1箇所のみ向きが違います。 作業内容 Grid如上所示注有标记。组装时请注意。

注意点

組装1 六角螺钉(M4×L20) Insulator2 作業内容 将Grid组装夹具水平放置,装上六角螺钉和Insulator2。

注意点 Grid的组装 1


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