分解３ Insulator Plate的分解和清洗 六角螺钉（M3×L8 4个） 作業内容 注意点 先拆下六角螺钉，然后再分解Mount Flange和Insulator Plate。 Insulator Plate很容易碎裂。 如Insulator Plate附有赃物，请用打砂纸去除。
分解4 Collector的分解和清洁 螺母（M4） Collector 作業内容 拆下六角螺母後，分解Collector。如Collector附有赃物，请用打砂纸去除。
注意点 Collector很容易变形。 分解5 Discharge Chamber 作業内容 如Discharge Chamber附有赃物，请用打砂纸去除。
注意点 Discharge Chamber很容易碎裂。 Discharge Chamber分解和清洗 组装 1 确认内部端子 Keeper RF GND RF Collector 作業内容 确认内部的端子部（Keeper, RF GND, RF, Collector），各螺钉， 各螺母是否有松弛。
注意点 组装2 Collector, Discharge Chamber的安装 Collector Discharge Chamber Coil 螺母（M4） 作業内容 用螺母（M4）固定Collector, Discharge Chamber。 注意点 Coil容易变形。