组装3 Insulator Plate的组装 Mount Flange Insulator Plate 注意平整度 作業内容 用六角螺钉（M３×L８）组装Mount Flange和Insulator Plate * Insulator Plate 无前后之分，可任意选择安装方向。
注意点 Insulator Plate容易碎裂，注意不要用力过度或拧得太紧。 组装4 Shroud的安装 Shroud 六角螺钉（M3×L5）、平型垫圈 各４个 作業内容 安装Shroud。
注意点 组装5 Keeper Plate的安装 Keeper Nut Keeper 作業内容 安装Keeper Plate。
注意点 组装 6 导通和绝缘测试 Keeper Lead RF Lead RF Lead – Keeper Lead: 绝缘 Keeper Lead – Collector Lead: 绝缘 Keeper – 中和器主体：绝缘 Collector Lead – RF Lead: 绝缘 Keeper Lead – Keeper Plate：导通 RF Lead – 中和器主体：导通 Collector Lead 作業内容 组装完成后，使用测试仪做导通和绝缘测试。 注意点 测试中如有异常，请再度确认。 添附资料3 故障处理
No. 项目 被设定成Interlock。 原因 处理方法 确认真空度的Interlock Cable的连接情况。 １ 即使Source按钮，也不能启动。 ２ Source按钮On之后，RFN Power不能切换成0W。 RF电源AX-300Ⅲ的表示呈Analog或Manual，（若重新打开控制器的电源。 显示RS232应属正常）。 ３ Source按钮On之后，RFN Power不能从0W上升到RF电源AX-300Ⅲ的Alarm点灯。 100W。(即持续为0W) ４ 中和器不能启动。 中和器的罩子没有拆下。 Gas Line没有被打开。 气体流量低（不满5SCCM）。 反射大。 Keeper被弄脏。 Collector被弄脏。 Lead线的导通?绝缘不良。 电源的保险丝被切断。 拆下中和器的罩子。 打开Gas Line。 提高气体流量（大约7~8SCCM）。 调整射频电源(Matching Box)。 确认RF Coil是否短路。 清洗Keeper。 清洗Collector。 用测试仪确认导通?絶縁。 更换保险丝。 用测试仪确认後，分解修理。 按Reset按钮後解除Alarm。 ５ 控制器上有中和器正启动着，实际上其并没有放Collector短路。 电。 ６ RF Power的反射大，无法匹配。 离子源罩子没有取下。 射频电源(Matching Box)的电源OFF。 RF Coil和GND之间短路。 RF Feedthrough和GND之间短路。 取下离子源罩子。 打开射频电源(Matching Box)的电源。 用测试仪确认後，修理。 用测试仪确认後，修理。 No. ７ 离子源不能启动。 ８ 即使按了Beam按钮，指示灯也不亮。 ９ Beam按钮On後，Acc电流值显示0ｍＡ。 1０ BeamOn後，Beam仍停止（显示E010）。 项目 Gas Line没有打开。 Gas流量低（O2：40SCCM未満） （Ar：20SCCM未満） Pulse设定电压过低（500V程度） Acc Grid和Screen Grid之间短路。 Quartz Chamber污染。 中和器的Emission和Power过低。 电源的保险丝断了。 离子源没有进入准备状态。 Acc的电极部份无接触。 Grid污染。 Quartz Chamber污染。 Grid间的绝缘子污染。 原因 打开Gas Line。 增大Gas流量（O2：50～60SCCM左右） 处理方法 （Ar：25～30SCCM左右）增大Pulse设定电压（1000V左右） 用测试仪确认并修理。 清洗Quartz Chamber。 调整设定Emission：800mA、Power：50W更换保险丝。 等进入准备状态後再按按钮。 用测试仪确认并修理。 清洗Grid。 清洗Quartz Chamber。 更换绝缘子。 清洗Keeper。 清洗Collector。 拧紧螺母。 拧紧街头。 重新组装Grid。 重新组装Grid。 1１ BeamOn後，中和器仍停止（显示E011）。 Keeper污染。 1２ Acc电流值过高。 Collector污染。 固定Collector的螺母有松懈。 Gas Line的接头松懈。 Grid的组装不良。 Grid Insulator的组装有错误（厚度）。 Grid清洗不充分。 1３ 暖機不夠。 Grid清洗後，Beam ON时Grid表面异常放电。 低电压，RF Power的环境下，让其短时间转。 重新清洗。
表面绝缘状态。用砂纸去除膜层。请每batch镀膜结束后都清洗。