7 我国气体分离设备制造体系形成(1956~1969) X3 [. t. h, z
为适应3350m3／h(氧)空气分离设备的生产，1956年12月19日，第一机械工业部批准将杭州通用机器厂迁址新建。1958年12月起更名杭州制氧柯L厂，并于1961年3月建成斤形成牛产能力。
# z+ C' M\1958年6月，第一机械I：业部提㈩第二座气体分离及液化设备的牛产千厂——开封空气压缩机及空分设备厂。1960年2月批准新建开封空分设备厂。1961年5月该厂试制第·一套50m3／h(氧)空气分离设备，从此开始厂气体分离及液化设备的生产。开封空分设备于1965年基本建成。 ( v& l5 r1 I! ]: S, T8 D0 z
3 S1 ^* ^, g) V$ M! d1959年，哈尔滨第—·机械厂在试制成功我国第一套30m3／h(氧)空气分离设备后，直到1959年又试制牛产了50m3／h(氧)空气分离设备，重新转向气体分离及液化设备的生产。1960年，哈尔滨第一机械厂更名为哈尔滨制氧机厂，并开始在哈西千业区建成新厂。
# W$ R7 c: d7 I\1960年，邯郸滏阳机械厂也开始转向空气分离设备的生产。同年，该厂试制成功厂50m3／h(氧)空气分离设备。1962年7／1，邯郸滏阳机械厂更名为邯郸制氧机厂。 5 R. Q# g1 v, y6 H6 q# i
杭州制氧机厂的迁建投产，开封空分设备厂的建设，以及哈尔滨制氧机厂、邯郸制氧机厂相继转产空气分离设备，使我国气体分离与液化设备工业的专业制造厂从1家增加到4家，初步形成了分布于华东、中南、华北、东北的比较合理的生产布局。1961年8月至9月，“全国制造行业厂际竞赛第一次会议”在杭州召开，标志厂这一行业的制造体系的初步形成，行业活动也从此开始。 / w7 M3 { j2 C: E$ J\
1965年开始，国家对气体分离及液化设备工业投资的重点转向二线地区，先后建设了自贡市机械一厂、四川空气分离设备厂和四川深冷设备研究所。1962年， 自贡市机械一厂开始试制50m3／h(氧)空气分离设备，转向气体分离设备及液化设备的生产。四川空气分离设备厂及四川深冷设备研究所是由杭州制氧机厂分迁和包建的，四
川空气分离设备厂以1971年起开始试制1000m3／h(氧)空气分离设备。1976年，经第一机械工业部批准，四川空气分离设备厂负责，筹建以多组分气体分离及液化技术和低温绝热技术为主要研究方向的专业科研机构——四川深冷设备研究所。
9 o5 ~* y! M2 j, f从1969年开始，冶金工业的迅速上马，使气体分离及液化设备出现了供不应求的情况。于是，以“会战”形式组织本地非专业生产厂制造了31套中大型制氧机。在高潮巾，江西制氧机厂、吴县制氧机厂(现苏州制氧机有限公司)由地方投资，开始了建设，转向气体分离及液化设备的牛产。此至，行业八厂二所形成中国气体分离及液化设备制造体系。
, R5 U7 N$ F5 C- s) } F9 J( ?8 稀有气体提取设备和气体液化设备的科研开发(1960—1963) 5 D+ V+ e6 \\% m& X; b# E氩、氖、氦、氪、氙等稀有气体的提取技术，是随着科学技术的发展和电光源工业的兴起而发展起来的。到50年代末，提取技术还不很成熟，加上技术封锁，使稀有气体价格高得惊人，每立方米氪、氚的售价竞比同等重量的黄金高出几倍，被称为“黄金气体”。在这种情况下，我国布关化工研究单位和化工厂与杭州制氧机研究所合作，共同进行提取设备的研制。该厂指派技术员沈维楞和孙瑞瑾分别负责制氩设备、氪氙提取设备、氖氦分离设备的研制工作。先在50m3／h(氧)空气分离设备上进行制氩试验，因氩气量太少而没有成功，取得了第一手数据资料。1960年初，沈维楞义设计了配于150m3／h(氧)空气分离设备的2．5mVh制氩设备，终于在1961年12月研制成功。1958年，由沈维楞设计，开始研制配丁3350m3／h(氧)空分设备的125m3／h制氩设备和O．042m3／h氪氙提取设备。这两种设备于1961年完成制造，后于1966年在吉林氮肥厂投运成功。由孙瑞瑾设计的25L／h(Ne)和3L／h(He)冷凝法氖氦分离设备也于1960年完成制造。与此同时，配合冷凝法分离的8L／h氢气液化设备，于1961年1月完成制造并安装调试，经过9个月的不断改进，先后开丁16次，终于在1961年10月获得成功，同时也完成了氖氦的分离。 ( b+ c. |* W5 P* |5 D- w
1960年，国家科学技术委员会在科技规划中要尽快发展稀有气体提取设备和气体液化设备。1961年7月在上海召开全国第一次稀有气体和气体液化设备会议，研究丁发展稀有气体提取没备和气体液化设备的任务。此后不久，巾杭州制氧机研究所设汁的35L／h(氖)、145L／h(氦)冷凝法氖氦分离设备和8L／h氦液化设备等先后投入了试制。同时还设计制造了低压流程和中压流程的20000m3／h天然气提氦设备，于1960年制造完成，1963年在四川重庆、隆吕两地分别投入运行。
9 液氧液氮设备产品开发(1955～1968)
/ j: y& R\1955年，罗靖、李永康、何兆奇等10多人参考苏联AK-RM制氧车，在曲守玉等人的讲解制氧机性能，以加温、起动、冷却、液化、调整纯度、充瓶及故障处理等，后来这批技术人员和工人在该厂发展制氧机生产进程中都成为骨干力量。1956年3月15日完成设计工作，投入试制，当年完成了2套，于11月装配完成后进行周期性试车，通过联合鉴定委员会鉴定，认为液氧产量和纯度已达到设计要求，试制成功。
$ B9 J2 M; w% v [7 o ]1958年，杭州制氧机厂指派李永康为主设计高压流程的150kg／h液氧液氮设备。1960年试制完成，并在北京航空学院安装调试，鉴定合格。 \1961年6月杭州制氧机研究所开始设计1000kg级液氧设备，从调研着手，进行可行性分析。不久，第一机械工业部向杭州制氧机研究所下达了研制750kg／h液氧设备的任务，并在该所设立701室，并调集一批技术力量，在短期内建立试验台，完成了中压清除二氧化碳、低塔板间距精馏、隔热气缸长活塞膨胀机、液氧泵、高压空气压缩机等关键技术，经过一年多的试验，1965年12月完成了图纸设计。1966年，杭州制氧机厂投入试制，于1967年1月试制完成。 ( d- \\6 m0 c1 }+ }: B# I
60年代初，杭州制氧机研究所沈昌炽、沈维楞等人，对回热式制冷机研究基础上，开
始进行液氮机的研制厂作。1966年试制成功4L／h回热式制冷机式液氮设备，接着完成20L／h液氮设备。该所吕青山等人还提出研制四缸回热式制冷机作冷源，用于低压流程制取液氧液氮的空气分离设备。1968年完成厂样机试制，首次实现了问热式制冷机为冷源的带液氧全低压全板式的内压缩的空气分离设备。
U. e+ ]3 r\1967年，自贡市机械一厂会同杭州制氧机研究所、 七院十五所等单位，完成了75m3／h(氮)移动式空气分离设备的联合设计，于同年投入试制，1968年试制完成两台样机。1968～1973年该厂义试制成功了120m3／h(氮)移动式空气分离没备，这些设备还能同时生产6—12L／h液氧或气氧，在室内外-45℃～+45℃的气温、高海拔地区等环境下都能正常工作。 % E4 v) W( e$ r' ]3 D6 b
10 氢液化设备研制(1960～1969)
1960年完成第一台8L／h氢液化设备制造。1961年1月在杭州制氧机研究所试验工场安装调试，于1961年10月获得成功。这些小型氢液化设备提供中国科学院低温试验所需冷源。 * w% d* l\
; y( h- Q; g+ n& Y1960年，指派李永康、张百春、林瑞琛等人与北京航空学院莫瑞庭等人员对液氢设备专题，开展流程分析计算工作。1961年1月确定100L／h液氢设备的设计任务。接着进行流程方案论证和设计下作。1961年3月，国家科委和一机部的稀有气体分离及液化设备会议上列入了研制计划，并清到中国科学院物理研究所洪潮生教授等人的审议，确定了流程，于1961年10月在杭州完成了图纸设计工作，于1963年12月在杭州制氧机厂制造完成。100L／h液氢设汁列出了140l～1404四个研究项目仟厂科研计划安排，在制造过程中主要解决厂真宁技术和真空容器刚性的设计研究等关键技术问题。1966年初安装在北京101站，于1966年2季度进行厂调试，并取得一次调试出液氢，但仍有不少技术质量问题有待于解决。终于在1969年正式投产牛产液
氢。
11 氦液化设备研制(1967～1979)
随着超导技术的迅速发展，国家科委部署了在尖端科技领域十有关激光与储能的科研项目，其中液氦设备的研制巾杭州制氧机研究所负责。1967年，第一期下程任务研制100L／h液氦设备。研究所指派李永康、孙瑞瑾等人设计，先进行流程方案论证。1969年9月，明确厂技术设计任务，开展工作，确定采用液氮预冷双级透平膨胀机双压流程。该设备流程中用厂气体轴承透平膨胀机、螺纹翅片绕管式换热器、高真空多层绝热低温容器及无油润滑氦气压缩机等四项高难度的新技术。例如气体轴承透平膨胀机，工作转速达12×104r／min，为解决高速气体轴承稳定性，通过几百次的反复试验和修改，最后在轴承上采用了特殊弹性元件。
! L+ C3 [2 Q9 l, e4 S/ Y8 D杭氧厂于1971年制造完成。1973年安装在四川乐山。杭氧指派李大十二为项目负责人，处理安装调试过程中所出现的技术质量问题。这些问题仍是产品试制过程带来的。1975年开始初步调试，对四个问题作了重大改进。 / n8 u6 l, ~\①采取措施，解决氦压缩机的漏气问题。 % t, @8 S0 R- l6 w% U% F# E ②液化器泄漏，真空度低下，重新补焊。
③对一、二级换热器形式作了更换，选用高效铝板翅式换热器。 - U ]/ r0 h0 |% \\! D7 I9 K' K D$ P, N9 F* t, i% }
④对氦膨胀机制冷量小，重新设计了风机轮、调换喷嘴环及提高轴承气压力等作了重大改进。3 K7 }& R' c4 c6 _. Y7 U0 ^
从设计到凋试技术人员共有50多人，在调试现场攻克了许多技术难关，于1977年12月联合调试，第一次出了液氦，产量只有40L／h。紧接着成立攻关组，继续探索，反