使用说明书
SFJ-261 型氦质谱检漏仪
? 皖 仪 科 技
◎ 目 录 ◎
? 1-1概述 二 SFJ-261使用说明书
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仪器介绍 ..................................................................................................................................... 5 ? 2-1 仪器性能参数
2-1-1 SFJ-261 性能参数
? 2-2仪器使用环境
5 5 6 6
2-2-1 SFJ-261使用环境
? 2-3 仪器结构 7
2-3-1 仪器外观 7 2-3-2 内部结构及部件 8 2-3-3 操作面板 9 ? 2-3-3-1 261面板 ................................................................................................................... 9 ? 2-3-3-2 261外部接口 ........................................................................................................... 9
2-3-4 电子系统示意图
? 2-4工作流程
11 12 12 14
2-4-1系统示意图 2-4-2系统工作流程
三 使用方法 ................................................................................................................................... 16 ? 3-1 开始使用（以喷吹法为例） 16
1 启动 ..................................................................................................................................... 16 2 参数设定 ........................................................................................................................... 19 3 检漏（喷吹法） ................................................................................................................. 27 4 标漏校准 ............................................................................................................................. 28 5 调零（校零） ..................................................................................................................... 28 6 停止 ................................................................................................................................... 29 7 运行状态 ........................................................................................................................... 29 8 停机断电 ........................................................................................................................... 30 ? 3-2 其他检漏方法的操作
3-2-1 吸入法检漏 3-2-2 背压法检漏 四 30 30 30
维护 ........................................................................................................................................... 31 ? 4-1 基本维护项目
4-1-1 漏率校准
4-1-2 机械泵保养 4-1-3 分子泵维护
4-1-4 质谱管及离子源清洗
31 31 31 31 31
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SFJ-261使用说明书
五 常见故障和处理 ............................................................................................................................. 32 ? 5-1 常见故障和处理 ? 5-2 错误代码及其排除 六 32 34
附录 ........................................................................................................................................... 35 ? 6-1 氦质谱检漏仪的工作原理 ? 6-2 氦质谱检漏仪的检漏方式 ? 6-3常用单位的换算
35 36 37 37 37
6-3-1 压强单位的换算 6-3-2 漏率单位的换算
? 6-4常用检漏方法 38
6-4-1 喷吹法——确定漏孔位置 ........................................................................................... 38 6-4-2 吸入法——确定漏孔位置 ....................................................................................... 39 6-4-3 钟罩法——测总漏率 ............................................................................................... 40 6-4-4 背压法——测总漏率 ............................................................................................... 41 6-4-5 辅助真空系统 ........................................................................................................... 42 七 售后服务 ....................................................................................................................................... 43 ? 7-1 售后服务
43
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SFJ-261使用说明书
一
1-1 概述
概述 SFJ－261型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用：
? 科学研究 ? 航空航天 ? 汽车制冷 ? 军事工业 ? 分析仪器 ? 发电厂 ? 核工业 ? 压力容器 ? 精密机械加工 ? 医疗仪器/仪表
? 真空炉、镀膜设备等装置或系统 ? 高真空和超高真空的工程 ?
半导体等行业
SFJ－261型氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。 4
SFJ-261使用说明书
二
2-1 仪器介绍
仪器性能参数
2-1-1 SFJ-261 性能参数
性 能 参 数 最小可检漏率（Pa.m/ s） 响应时间（s） 启动时间（min） 漏率指示范围（Pa.m/s） 检漏口允许最大压力（Pa） 线控器 双灯丝自动切换 允许质谱管最大压力（Pa） 检大漏功能 33机 型 SFJ-261 SFJ-261 SFJ-261 SFJ-261 SFJ-261 SFJ-261 SFJ-261 SFJ-261 SFJ-261 参 数 值 5×10 <1 <3min 1×10～1×10 1000Pa 选配 有 3×10 基本型号不具备 450×480×350 <45KG -3-3-12-12仪器物理尺寸（W）×（D）×（H） SFJ-261 重量（KG） SFJ-261
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