SFJ-261使用说明书
2-3-4 电子系统示意图
离子源电源模块 输出控制模块
各模块功能如下表所示：
模块名称 CPU 显示模块 控制模块 输入模块 RS232数传模块 输出控制模块 离子源电源模块
显示模块 CPU 控制模块 输入模块 RS232/485数传模块 电气系统示意图 （电源模块隐含） 功 能 简 介 整个电子系统的核心，协调所有的操作都 显示漏率，压力等数据 按键输入以便完成相应的操作 采样数据并传送给CPU 与外部232设备通讯，也可接线控器 控制继电器，电磁阀的动作，以实现检漏、停止等操作和气路切换 控制离子源的电源 *仪器运行时, 离子源电源模块所在的“电气部分”有高压，请不要触摸，请不要随
意打开机箱后盖及电气盒盖。
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2-4工作流程
2-4-1系统示意图
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编 号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
系 统 示 意 图 名 称 分子泵 分子泵排气口 真空计 分子泵进气口1 电磁阀V4 电磁阀V3 电磁阀V1 机械泵 电磁阀V2 电磁阀V6 标准漏孔 导管 真空计 备注 可为质谱室提供高真空，以便离子源可靠的工作 ----- 测量分子泵排气口的真空值 气流压缩比最大， 切换气路 切换气路 切换气路 分子泵的前级泵，并为小容量的工件抽真空 切换气路 为工件放气 定标时应用的接口 加滤网后同大气相连 测量检漏口压力 12
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14 15 16 17 18 19 检漏口 分子泵进气口2 质谱室 磁铁 接收器 分子泵主进气口 与被检工件的接口 抽速比主进气口低，压缩比较大 ------ ------ 接收氦离子信号 与质谱室相连 * 压缩比： 进气口1，进气口2，分子泵排气口的氦气浓度与主进气口处氦气浓度的比值。
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2-4-2系统工作流程 启动流程图： 重试 N 重试次 数>10? Y 出错(等待重 重新上电)
接通电源 Y 粗真空ok？ (部件3测量) Y 分子泵启动 N N 计时>600Y 出错(等待重重新上电) N N 分子泵/高真空ok? Y 离子源加电 成功? Y 启动完成,可以检漏了 计时>600Y 出错(等待重重新上电) 备注: 启动过程中只有V1是打开的其余阀都应该是关闭的，如果有阀没有关闭，请检查，或联系生产商；如果系统出错,且多次重新启动后均无法启动,请联系生产厂商 14
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检漏流程图：（喷吹法为例） 系统出错流程 仪器READY 接好工件，按下检漏键 关闭V1，打开V2预抽真空， 检漏口真空 到1000pa？ N Y 打开V1，如检测大漏 可以喷氦检漏了 检漏口真空 到100pa？ N Y 关闭V2，打开V3，V1，如 检测中漏漏可以喷氦检漏了 检漏口真空 到10pa？ N 关闭V3，打开V4Y ，V1，如 检测微漏可以喷氦检漏了 检漏完成，按停止键结束检漏
* 详细操作说明请参见下章
系统出错 显示错误代码 关闭所有的阀门及分子泵和离子源电源，等待用户处理 计时到3600秒？ N 每280秒开V1，关V2一次并维持2秒，然后再次关闭V1打开V2，防止因分子泵排气口压力过高，使分子泵停机 出错，真空抽不下，Y 可能要接辅助机械泵，或者有大漏 标漏键驱动的事件： 按下标漏按钮 N 检漏中？ Y 开/关V5（标漏阀） 开V5系统开始重新定标，显示等待画面 显示采集到的数值 定标完成后，当前标漏值，需要按停止按钮将此数值存储，否则定标无效
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