SFJ-261使用说明书
四 4-1
维护
基本维护项目 4-1-1 漏率校准
长时间不用或每天开机后进行一次。 请参阅3-1-2标漏校准。
4-1-2 机械泵保养
加油孔堵头
MAX 油面
MIN 排油孔堵头
每隔一段时间观测一次机械泵油面如图所示，确保起油面在MIN以上，如果低于MIN则需要对机械泵加油；如果油为棕黑色则需要对其换油。
操作如下：
? 关闭仪器，打开外壳。
? 加油：拆下，加油孔堵头，然后将专用的机械泵油从此孔装入，注意不要超
过MAX线，重新装好加油孔堵头即可。
? 换油：需要先将排油孔堵头拆下，将泵内脏油放尽，然后将排油孔堵头重新
装好，然后重复加油动作即可。
4-1-3 分子泵维护
分子泵属于精密机械，搬运时注意轻拿请放，注意泵体内部要保持洁净，如果不
慎进入污垢要及时对其进行清洗，清洗时要用专门的清洗液和工具！
分子泵的维护的需要在专业人员指导下才能对其进行相关操作，如果发现有他人
私自损害现象，本公司不承担后果。
4-1-4 质谱管及离子源清洗
仪器长时间使用后，质谱管可能会被污染，建议您和厂商或经销商联系。
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五 常见故障和处理 5-1 常见故障和处理 故障分类 故障现象 检查和排除方法 电源插座有无~220V 插头与插座是否接触良好 电源开关是否接触 保险管是否损坏 检查电气盒中变压器是否接头是否松动 检查到显示模块连接线是否松动 检查风扇是否正常 检查风扇插座是否松动 检查机械泵电源 检查机械泵 检查机械泵各连接卡箍 检查检漏口是否密封 检查机械泵油面 检查是否有大漏 检查分子泵电源 检查及分子泵信号线 检查分子泵各接口是否连接好 检查显示模块电源 检查电磁阀V2 检查分子泵 检查离子源插座 检查离子源插座 检查按键是否损坏 检查是否有按键一直按下 电源 开机后无显示 机械泵不运转 散热风扇不转 开机后无显示 机械泵不运转 风扇 风扇不转 开机后有显示，机械泵不转 机械泵 机械泵响声不正常 机械泵不OK 分子泵 分子泵不OK 显示 检漏口真空 灯丝 离子源 显示错误，无显示 检漏口真空抽不下去 灯丝不加电 离子源反复加电 按键不起作用 按键
按键不起作用 仪器不停的鸣叫 32
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说明 如果出现上表未列出之故障，请与生产商或经销商联系 33
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5-2 错误代码 E01 E02 E03 E04 E05 E06 E07 E08 含义 分子泵出错 机械泵出错 灯丝断路 检漏口压力过高 A/D错误 灯丝保护 氦峰失准 其他故障 检查排除 重新启动仪器 重新启动仪器 更换灯丝 检查检漏口是否连接好 更换A/D 重新启动仪器 检查离子源电压 告知厂家 错误代码及其排除 说明 如果出现上表未列出之错误，请与生产商或经销商联系
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六 6-1 附录
氦质谱检漏仪的工作原理 氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪
器．其质谱原理如图所示。
接收器 离子源
轻离子 氦离子
重离子
磁场
氦质谱检漏仪的质谱学原理
灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径 R?144M?10?4U BZ
式中R ——离于偏转轨道半径（cm）
B ——磁场强度（T）
M ——离子的质（量）／（电）荷比（正整数）
Z U ——离子加速电压（V）
由上式可知，当R、B为定值时，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
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