SFJ-261使用说明书
2-2 仪器使用环境
2-2-1 SFJ-261使用环境
机 型 环 境 参 数 环境温度（℃） 相对湿度 SFJ-261 供电电压 最大工作电流（A） 0~50 <80% 单相~220V±10% ,50Hz 5A 极 限 条 件
注 意 1、使用本产品前请确保仪器已可靠接地,严禁在没有接地的情况下使用本产品！ 如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡，本公司不承担任何责任。 2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要有良好通风，以防氦气干扰
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仪器结构 仪器外观
SFJ-261
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2-3
2-3-1
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2-3-2 内部结构及部件
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11 5 1 3 6 2 12 7
编 号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 14 15 部件名称 检漏口 接收器 离子源 质谱室 真空计接口 分子泵 组合阀座 磁铁 电磁阀 电气控制位置 散热风扇 标漏 真空泵 开关电源 备 注 被检工件与检漏仪的接口，KF-25接口 收集氦离子信号并放大 产生氦离子 离子飞行的腔体 共两只，一只用于测量检漏口真空， 另外一只用于测量分子泵排气口真空值 可使质谱室达到高真空 完成气路切换的工作 为离子旋转提供磁场 实现气路的通或断 电气控制都集中在此（高压危险） ----- 漏率参照 分子泵的前级泵和预抽工件时使用 为电器部分提供电源 4 8 11
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注
? 不同的机型可能各部件布局略有差异 8
? 图片仅供参考，请以实物为准 SFJ-261使用说明书
2-3-3
操作面板
? 2-3-3-1 261面板
触摸显示屏
调零
部件名称 触摸显示屏 开始/停止 调零
部件类型 显示操作 按钮 按钮 开始/停止
备 注 显示设备当前的运行状态,可通过触摸方式更改参数切换显示画面 开始检漏或停止检漏按钮.长按可对检漏口放入空气,以便更换工件 按下后可自动扣除当前本底,长按取消调零 ? 2-3-3-2 261外部接口
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编号 部件类型 1 2 3 4 5 6
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2 3 4 5 6 备 注 电源接口包括：开关/保险丝/电源插孔 串行通讯接口 485通讯接口 吸枪控制接口 输出控制接口 机械泵排气口 电源接口 DB9接头 RJ-45接口 RJ-11接口 DB15接口 PC快速接口 SFJ-261使用说明书
DB9接口定义
编号 1 2 3 4 5 6，7，8，9
DB15接口定义
编号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 24V 输出继电器1常开 输出继电器1公共端 输出继电器1常闭 输出继电器2常开 输出继电器2公共端 输出继电器2常闭 输出继电器3常开 输出继电器3公共端 输出继电器3常闭 GND 检漏口真空输出 漏率信号输出 漏率基数电压输出9.9V对应9.9 漏率指数电压输出14V对应于-14，0V对应于0 备 注 NC RXD TXD NC GND NC 备 注
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