洁净室压差监测记录及结果评价
附件10 系统名称
房间 结果评价 标准 月 日 监 测 结 果 年 月 日 月 日 月 日 月 日 月 日 月 日 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 检查人员： 年 月 日 30
洁净室悬浮粒子检测结果及评价记录(JK- 系统)
附件11 检测仪器 检测方法 测点编号 测点位置 粒径 (μm) ≥0.5 1 ≥5 ≥0.5 2 ≥5 ≥0.5 3 ≥5 ≥0.5 4 ≥5 ≥0.5 5 ≥5 ≥0.5 6 ≥5 ≥0.5μm ≤3500000 ≥5μm ≤20000 标准要求 1 2 3 4 5 平均值 尘埃粒子计数器 测试状态： 年 月 日 《洁净室悬浮粒子测试SOP》 检 测 数 据
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检测仪器 检测方法 测点编号 尘埃粒子计数器 测试状态： 年 月 日 《洁净室悬浮粒子测试SOP》 测点位置 粒径 (μm) ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 标准要求 检 测 数 据 1 2 3 4 5 平均值 7 8 9 10 11 12 ≥0.5μm ≤3500000 ≥5μm ≤20000 13 结果评价 检查人员： 年 月 日 32
洁净室沉降菌检测结果及评价记录(JK- 系统)
测试状态： 检测方法 测点编号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 附件12
测试时间： 年 月 日 《洁净室沉降菌测试SOP》 检 测 数 据 测点位置 10万级 ≤10个/皿 标准要求 1 2 3 4 5 平均值 33 测试状态： 检测方法 测点编号 14 15 16 17 测点位置 测试时间： 年 月 日 《洁净室沉降菌测试SOP》 检 测 数 据 标准要求 1 10万级 ≤10个/皿 2 3 4 5 平均值 结果评价 检查人员： 年 月 日 34