气阀门 TIAS1-105C 高压产品氮气出冷箱温度 ≦5℃ ≦0℃ CR 高压氮泵惰转关闭氮气阀门 TIAS1-511A 高压液氮泵A轴承加热器处温度 >110℃ >115℃ CR <-10℃不允许启动 <5℃heat on >25℃ Heatoff TIAS1-511B 高压液氮泵B轴承加热器处温度 >110℃ >115℃ CR <-10℃不允许启动 <5℃heat on >25℃ Heatoff TIAS1-512A 高压液氮泵A密封气侧处温度 TIAS1-512B 高压液氮泵B密封气侧处温度 TIAS1-611A 工艺液氧泵A轴承加热器处温度 >110℃ >115℃ CR <-10℃不允许启动 <5℃heat on >25℃ Heatoff TIAS1-611B 高压液氧泵B轴承加热器处温度 >110℃ >115℃ CR <-10℃不允许启动 <5℃heat on >25℃ Heatoff TIAS1-612A 工艺液氧泵A密封气端温度 <-75℃ <-120℃ CR 停止工艺氧泵运行 TIAS1-612B 工艺液氧泵B密封气端温度 <-75℃ <-120℃ CR 停止工艺氧泵运行 TIAS1-631A 高压液氧泵A轴承加热器处
停止高压氮泵运行 停止高压氮泵运行 <-75℃ <-120℃ CR 停止高压氮泵运行 <-75℃ <-120℃ CR 停止高压氮泵运行 停止工艺氧泵运行 停止工艺氧泵运行 >110℃ >115℃ 14
CR <-10℃不允许<5℃heat on 停止高压氧泵温度 启动 >25℃ Heatoff 运行 TIAS1-631B 高压液氧泵B轴承加热器处温度 >110℃ >115℃ CR <-10℃不允许启动 <5℃heat on >25℃ Heatoff 停止高压氧泵运行 TIAS1-632A 高压液氧泵A密封气端温度 <-75℃ <-120℃ CR 停止高压氧泵运行 TIAS1-632B 高压液氧泵B密封气端温度 <-75℃ <-120℃ CR 停止高压氧泵运行 PdIS1-501A 高压液氮泵A压差 现场整定 CR 停止高压氮泵运行 PdIS1-501B 高压液氮泵B压差 现场整定 CR 停止高压氮泵运行 PdIAS1-502A 高压液氮泵A密封气压差 <4 KPa <0KPa CR 停止高压氮泵运行 PdIAS1-502B 高压液氮泵B密封气压差 <4 KPa <0KPa CR 停止高压氮泵运行 PdIS1-601A 工艺液氧泵A压差 CR 停止工艺氧泵运行 PdIS1-601B 工艺液氧泵B压差 CR 停止工艺氧泵运行 PdIAS1-602A 工艺液氧泵A密封气压差 <4 KPa <0KPa CR 停止工艺氧泵运行 PdIAS1-602B 工艺液氧泵B密封气压差 <4 KPa <0KPa CR 停止工艺氧泵 15
运行 PdIS1-631A 高压液氧泵A压差 CR 停止高压氧泵运行 PdIS1-631B 高压液氧泵B压差 CR 停止高压氧泵运行 PdIAS1-632A 高压液氧泵A密封气压差 <4 KPa <0KPa CR 停止高压氧泵运行 PdIAS1-632B 高压液氧泵B密封气压差 <4 KPa <0KPa CR 停止高压氧泵运行 AIAI-11 主冷底部液氧氧化亚氮含量分析 AIASI-102 产品氧气纯度 <99.5% <99.4% CR 关LV7 AIASI-103 产品氮气纯度 >15PPMO2 >15PPMO2 CR 关HV8 FIAI-501A 高压液氮泵A轴封气流量 FIAI-501B 高压液氮泵B轴封气流量 FIAI-601A 工艺液氧泵A轴封气流量 FIAI-601B 工艺液氧泵B轴封气流量 FIAI-602A 高压液氧泵A轴封气流量 FIAI-602B 高压液氧泵B轴封气流量 LICAI-1 下塔液空液位 <200mm >1200mm LICAI-2
>45PPM CR 闭闭≤3Nm/h 3 CR ≤3Nm/h 3 CR ≤5Nm/h 3 CR ≤5Nm/h 3 CR ≤5Nm/h 3 CR ≤5Nm/h 3 CR CR 主冷凝蒸发器<1900mm <1400mm 16
CR 停高压液氧液位 LICAI-3 <800mm CR CR CR CR 氧泵 工艺氧泵惰转 上塔液氧液位 <1500mm PIAI-1 PIAI-2 PIAI-3 下塔底部压力 >0.53MPa 上塔底部压力 >0.06MPa 主冷液氧表面压力 >0.06MPa PICAI-503A 高压液氮泵A出口压力 <8.4 MPa CR PICAI-503B 高压液氮泵B出口压力 <8.4 MPa CR PICAI-603A 工艺液氧泵B出口压力 <0.52MPa CR PICAI-603B 工艺液氧泵B出口压力 <0.52MPa CR PICAI-633A 高压液氧泵B出口压力 <5.5MPa CR PICAI-633B 高压液氧泵B出口压力 <5.5MPa CR PICAI-709 PIAI-2002 SOA1-501A 液空蒸汽压力 >0.06MPa 仪表空气压力 <0.4MPa 高压液氮泵A运行信号报警 CR CR CR SOA1-501B 高压液氮泵B运行信号报警 CR SOA1-601A 工艺液氧泵A运行信号报警 CR SOA1-601B 工艺液氧泵B运行信号报警 CR SOA1-631A 高压液氧泵A运行信号报警 CR SOA1-631B 高压液氧泵B运行信号报警 CR 六.液氧存储 17
PICAS1705 储槽压力 >9.5KPa <0KPa >6KPa CR 开PV1702 关PV1702 LIA1702 储槽液位显示 <500mm >8250mm CR PIS1717 充瓶气压力 >16.2MPa CR 停止充瓶泵运行 SOA1705 液氧泵运转异常时报警 CR TIA1703 储槽外壳底部温度指示 CR TIS1715 充瓶气氧出口温度 <-8℃ CR 停止充瓶泵运行 七.液氮存储 PICS1804 产品气出口压力指示联锁 PICAS1805 储槽压力 >9.5KPa <0KPa >6KPa LIA1802 储槽液位指示 <500mm >8250mm PIS1817 充瓶气压力 >16.2MPa CR 停止充瓶泵 PdIAS1801 密封气进口压差 PdIS1821 液氮泵进出口压差 <5MPa CR 液氮泵启动后15秒压差低于5 MPa泵停止运行 SOA1801 液氮泵运转异常时报警 SOS1802
>8.6MPa 停止事故氮泵 CR 开PV1802 关PV1802 CR CR CR 水泵运转异常 18
CR