第6章 金属薄膜材料(14)

2. 金属薄膜的形成机理如何观察金属薄膜的形成过程和结构？(2)现场观察法：把蒸发源放在电镜内蒸发制作薄膜样 )现场观察法： 一面观察薄膜的形成过程。 品，一面观察薄膜的形成过程。 优点：能够实时动态观察薄膜形成的过程，确定薄膜 优点：能够实时动态观察薄膜形成的过程， 的成膜方式和成膜机理； 的成膜方式和成膜机理； 缺点：薄膜形成过程容易受到电子束的干扰， 缺点：薄膜形成过程容易受到电子束的干扰，设备要 求高(需要设计并安装特殊附件), ),膜厚难以测量和蒸 求高(需要设计并安装特殊附件),膜厚难以测量和蒸 发物质受限等。 发物质受限等。