第6章 金属薄膜材料(17)

3. 金属薄膜的结构3.3 薄膜的热应力和生长应力热应力：由于衬底 热应力：由于衬底(substrate)与薄膜材料之间线膨胀系数的差 与薄膜材料之间线膨胀系数的差 别，在薄膜制备以后温度变化时在薄膜与衬底中产生的应力。 在薄膜制备以后温度变化时在薄膜与衬底中产生的应力。 温度变化引起的薄膜应变： 温度变化引起的薄膜应变：

ε f = ∫ (α s α f ) dT ≈ α T温度变化引起的薄膜应力： 温度变化引起的薄膜应力：

σ f = k ε f = k α T