3. 金属薄膜的结构3.2 线缺陷(位错)位错密度：单位体积内位错线的总长度。 位错密度：单位体积内位错线的总长度。 金属薄膜中的位错密度： 金属薄膜中的位错密度： 在FCC金属单晶薄膜中位错的密度为 10-1011cm-2。良好 金属单晶薄膜中位错的密度为10 金属单晶薄膜中位错的密度为 的块状金属的位错密度为10 的块状金属的位错密度为 4-106cm-2。
发生大量塑性变形 的晶体中，位错密度为10 的晶体中，位错密度为 10-1012cm-2. 薄膜中位错密度与强烈塑性变形后的相当， 薄膜中位错密度与强烈塑性变形后的相当，其内部的畸变 是相当严重的。 是相当严重的。