3. 金属薄膜的结构结构缺陷的影响金属薄膜性能的重要因素，对金属薄 结构缺陷的影响金属薄膜性能的重要因素， 膜的结构缺陷进行观察表征， 膜的结构缺陷进行观察表征，研究结构缺陷对性能的影响 是金属薄膜材料研究的重要领域。 是金属薄膜材料研究的重要领域。
3.1 点缺陷是薄膜材料中点缺陷的主体。 类型：间隙原子和空穴。 空穴是薄膜材料中点缺陷的主体 类型：间隙原子和空穴。但空穴是薄膜材料中点缺陷的主体。 空穴成为金属薄膜点缺陷主体的原因： 空穴成为金属薄膜点缺陷主体的原因： 在金属薄膜中，形成空穴需要的能量为 左右， 在金属薄膜中，形成空穴需要的能量为1.0eV左右，比其 左右 它点缺陷(如间隙原子)所需的能量小的多。例如， 中 它点缺陷(如间隙原子)所需的能量小的多。例如，Cu中 形成一个间隙原子所需的能量为2.5-3.3eV。 形成一个间隙原子所需的能量为 。