第6章金属薄膜材料(18)

2021-01-20 22:21

3. 金属薄膜的结构生长应力：生长应力：由于薄膜沉积过程特点所造成的应力。由于薄膜沉积过程特点所造成的应力。是从薄膜总应力中去除热应力部分后剩余的应力总和。除热应力部分后剩余的应力总和。生长应力的影响因素：生长应力的影响因素：沉积后薄膜中的化学反应(原子进入和离开薄膜产生应力) 沉积后薄膜中的化学反应(原子进入和离开薄膜产生应力) 沉积薄膜的空洞引发应力；沉积薄膜的空洞引发应力；空洞引发应力薄膜组织的回复和再结晶产生应力；薄膜组织的回复和再结晶产生应力；