卢瑟福背散射(RBS)在材料表征中的应用(10)

材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用

1、运动学因子 运动学因子K定性分析的质量分辨率 定性分析的质量分辨率： K称为运动学因子动力学因子K在入射 角度为180o时与靶原 子质量的关系（入射 离子为 粒子）。从右图中可以看出，随着靶的原子质量 的增加，dK/dMr逐渐减小。这说明，利 用RBS测定轻元素时，其质量分辨率高； 测定重元素时，其质量分辨率低。（注 意：探测器的能量分辨率，动力学因子 都对质量分辨率有影响）。