材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用
1、运动学因子 运动学因子K定性分析的质量分辨率： K称为运动学因子 随着靶 子质 随着靶原子质量的增加，动力 增 动力 学因子的dK/dMr逐渐减小。这 说明，利用RBS测定轻元素时， 其质量分辨率高；测定重元素 时，其质量分辨率低。（注意： 探测器的能量分辨率，动力学 因子都对质量分辨率有影响）。质量分辨率决定于： （1）被原子序数相邻的靶原子散射的 离子的能量差值； （2）探测器本身的能量分辨率。 只有被两种不同的靶原子散射的离子的 能量差值大于探测器的能量分辨率时， 能量差值大于探测器的能量分辨率时 靶原子才能被分辨出来。所以，提高质量分辨率的方法 所以 提高质量分辨率的方法 有： 1、提高入射离子的能量； o附近； 2、将探测器固定在180 将探测器固定在 附近 3、使用质量较大的离子； 4、提高探测器的能量分辨率。