材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用
卢瑟福背散射能谱分析的原理与RBS分析有关的几个物理概念： （1）描述背散射离子的能量与靶原子质量数、入射离子质量 数 数、入射离子的能量和入射角度之间的关系的运动学因子K， 射离子 能 射角度 关 动学 子 与定性分析有关； （2）描述在某一个散射角度上入射离子被靶原子散射的几率 （2）描述在某 个散射角度上入射离子被靶原子散射的几率 的散射截面 ，它决定于入射离子的靶原子的原子序数、质 量数、入射离子的能量和入射角度等，是定量分析的基础。 （3）入射离子和散射离子的能量损失 （4）阻止截面（阻止本领）和布拉格定律 阻止截面的引入是因为入射离子或者散射离子在具体的靶 中能量损失难以查到。阻止本领可以用来解释离子能量的损 失，也是深度分析的基础。