材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用
3、能量损失 能量损失 E dE li lim dx x 0 xdE dx入射离子进入靶后，将会与靶原子的电子和原子核发生相互作用而损失能 量。假设能量为Eo的入射离子穿透 x厚的靶后，能量损失为 E，则定义： 为能量损失 其单位为 V/ 为能量损失，其单位为eV/nm。dE/dx随着m和M的增加而增加，也随着靶的密度增加而增加。同时，它还随 dE/dx随着m和M的增加而增加 也随着靶的密度增加而增加 同时 它还随 着离子本身的能量变化而变化（是E的函数）。因而在离子与靶原子的相互 作用过程中，它不是一个常数。 在离子束与固体相互作用的研究中，积累了大量的数据。对于背散射研究 使用的能量在0.5 ~ 3 MeV的 粒子，其dE/dx一般在100 ~ 1000 eV/nm左 右。实际资料中的 实 资料中的dE/dx不是以数学函数的形式给出，而是给出不同能量 数学 数的 式给 给 能量 时的dE/dx值与E值的关系曲线。具体的数据可以从下面文献得到：J.W. J W Mayer and E E. Rimini ed., ed Ion Beam Handbook for Materials Analysis, Academic Press, 1977.