卢瑟福背散射(RBS)在材料表征中的应用(16)

材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用

2、散射截面 散射截面 能量为2 MeV的 粒 子 射不同单元素 子入射不同单元素 薄层时的相对产额。 对于重元素，由于 较大的散射截面， 较大的散射截面 其RBS敏感度比对 轻元素高100倍以 上。能量值表示表 面处散射的离子能 量。