卢瑟福背散射(RBS)在材料表征中的应用(4)

材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用

卢瑟福背散射能谱分析RBS分析设备包括离子源、加速 装置 离子束筛选装置 聚焦装 装置、离子束筛选装置、聚焦装 置、样品室、探测器等等。 离子束产生后经过加速、筛选和 聚焦后达到样品上被散射，经过 探测器得到RBS能谱。