河南大学微电子学与同体电子学专业２００７级硕士学位论文
２１３（２００８）．
【１２】Ｄ．Ｍ．Ｐａｒａｇｕａｙ，Ｄ．Ｗ．Ｅｓｔｒａｄａ，Ｌ．Ｄ．Ｒ．Ａｃｏｓｔａ，ｅｔ
ＺｎＯｔｈｉｎｆｉｌｍｇｒｏｗｎｂｙｐｌａｓｍａ－ａｓｓｉｓｔｅｄａｌ，ＩｎｆｌｕｅｎｃｅｏｆａｎｎｅａｌｉｎｇｏｎＭＯＣＶＤ，Ｖａｃｕｕｍ．６９，４７３（２００３）．
ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｅｘｃｉｔｏｎｉｃ【１３】ＹＥＣｈｅｎ，Ｄ．Ｍ．Ｂａｇｎａｌｌ，Ｚ．Ｑ．Ｚｈｕ，ｅｔａｌ，Ｒｏｏｍ
ｓｔｉｍｕｌａｔｅｄｅｍｉｓｓｉｏｎｆｒｏｍｚｉｎｃｏｘｉｄｅｅｐｉｌａｙｅｒｓｇｒｏｗｎｂｙｐｌａｓｍａａｓｓｉｓｔｅｄ
Ｃｒｙｓｔ．Ｇｒｏｗｔｈ．１８１，１６５（１９９８）．ＭＢＥ，Ｊ．
【１４】ＹＹ）（ｉ，ＹＥＨｓｕ，Ａ．Ｂ．ｏｊｕｒｉｓｉｃ，Ａ．Ｍ．Ｃ．Ｎｇ，Ｗ．Ｋ．Ｃｈａｎ，Ｈ．Ｌ．Ｔａｍ，ａｎｄＫ．Ｗ
ｅｍｉｔｔｉｎｇｄｉｏｄｅｓｂｙｓｏｌｕｔｉｏｎ－ｂａｓｅｄｇｒｏｗｔｈ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．Ｃｈｅａｈ，ＮｉＯ／ＺｎＯｌｉｇｈｔ
９２，１１３５０５（２００８）．
【１５】Ｈ．Ｏｈｔａ，Ｋ．Ｋａｗａｍｕｒａ，Ｍ．Ｏｒｉｔａ，Ｍ．Ｈｉｒａｎｏ，Ｎ．Ｓａｒｕｋｕｒａ，ａｎｄ
ＣｕｒｒｅｎｔＨ．Ｈｏｓｏｎｏ，ｏｆｉＩｌｉｅｃｔｉｏｎｅｍｉｓｓｉｏｎｆｒｏｍａｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔｐ／ｎｊｕｎｃｔｉｏｎｃｏｍｐｏｓｅｄ
ｐ－ＳｒＣｕ２０２／ｎ－ＺｎＯ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．７７，４７５（２０００）．
［１６】Ａ．Ｔｓｕｋａｚａｋｉ，Ａ．Ｏｈｔｏｍｏ，Ｔ．Ｏｎｕｍａ，Ｍ．Ｏｈｔａｎｉ，Ｔ，Ｍａｋｉｎｏ，Ｍ．Ｓｕｍｉｙａ，Ｋ．
Ｏｈｔａｒｆｉ，Ｓ．ＥＣｈｉｃｈｉｂｕ，Ｓ．Ｆｕｋｅ，ＹＳｅｇａｗａ，Ｈ．Ｏｈｎｏ，Ｈ．Ｋｏｉｎｕｍａ，ａｎｄ
ｄｏｐｉｎｇＭ．ａｎｄＫａｗａｓａｋｉ，Ｒｅｐｅａｔｅｄｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｏｄｕｌａｔｉｏｎｅｐｉｔａｘｙｆｏｒｐ－ｔｙｐｅ
ｌｉｇｈｔ－ｅｍｉｔｔｉｎｇｄｉｏｄｅｂａｓｅｄｏｎＺｎＯ，Ｎａｔ．Ｍａｔｅｒ．４，４２（２００５）．
ｎ－ｉ－ｐｈｅｔｅｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ【１７】Ｋ．ＷａｎｇａｎｄＹＶｙｇｒａｎｅｎｋｏ，ＺｎＯ－ｂａｓｅｄｐ－ｉ—ｎａｎｄ
ｓｅｎｓｏｒｓ：ａｃｏｍｐａｒａｔｉｖｅｓｔｕｄｙ，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．１０１，１１４５０８（２００７）．
Ａ．Ｎａｔｈａｎ，Ｌｏｗｌｅａｋａｇｅｐ－ＮｉＯ／ｉ－ＺｎＯ／ｎ－ＩＴ０【１８】ＹＶｙｇｒａｎｅｎｋｏ，Ｋ．Ｗａｎｇａｎｄ
ｈｅｔｅｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｓｅｎｓｏｒ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．８９，１７２１０５（２００６）．
［１９］Ｈ．Ｏｈｔａ，Ｍ．Ｋａｍｉｙａ，Ｔ．Ｋａｍｉｙａ，Ｍ．Ｈｉｒａｎｏ，Ｈ．Ｈｏｓｏｎｏ，ＵＶ－ｄｅｔｅｃｔｏｒｂａｓｅｄｏｎ
ｐｎ－ｈｅｔｅｒｏｊｕｎｃｔｉｏｎｄｉｏｄｅｃｏｍｐｏｓｅｄｏｆｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔｏｘｉｄｅｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ，ｐ－ＮｉＯ／ｎ－ＺｎＯ，Ｔｈｉｎｓｏｌｉｄｆｉｌｍｓ４４５，３１７（２００３）．
［２０】Ａ．Ｍｉｔｒａ，Ｒ．Ｋ．Ｔｈａｒｅｊａ，ＶＪａｎｅｓａｎ，Ａ．Ｇｕｐｔａ，Ｐ．Ｋ．Ｓａｈｏｏ，ｖ．Ｎ．Ｋｕｌｋａｍｉ，
ＳｙｎｔｈｅｓｉｓａｎｄｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｏｆＺｎＯｆｉｌｍｓｆｏｒＵＶｌａｓｅｒ，Ａｐｐｌ．Ｓｕｒｆ．Ｓｃｉ．１７４．２３２（２００１）．