河南大学微电子学与同体电子学专业２００７级硕士学位论文
３．ＺｎＯ／ＮｉＯ
ｇｌａｓｓｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｈｅｔｅｒｏｊｕｎｃｔｉｏｎｂｙｉｓｆａｂｒｉｃａｔｅｄｂｅａｍｏｎｆｌｕｏｒｉｎｅ－ｄｏｐｅｄｔｉｌｌｏｘｉｄｅｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅ．Ｔｈｅｌａｓｅｒ－ｍｏｌｅｃｕｌａｒｅｐｉｔａｘｙｓａｍｐｌｅｓａｒｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄｂｙＸ—ｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ，ｒｅｃｔｉｆｉｃａｔｉｏｎｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ，ＵＶ－ｖｉｓｉｂｌｅａｂｓｏｒｐｔｉｏｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙａｎｄｓｕｒｆａｃｅｐｈｏｔｏｖｏｌｔａｇｅｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ．Ｔｈｅ
ａａｌｌ－ｏｘｉｄｅｈｅｔｅｒｏｊｕｎｃｔｉｏｎｓｈｏｗｓｃｌｅａｒｒｅｃｔｉｆｉｃａｔｉｏｎｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｗｉｔｈ
ｐｈｏｔｏｖｏｌｔａｉｃｒｅｓｐｏｎｓｅａｔ３７３ｎ／ｎｔｈｒｅｓｈｏｌｄｖｏｌｔａｇｅｏｆａｂｏｕｔ１．５ＶＴｈｅｎｅｗｏｒｉｇｉｎａｔｉｎｇｆｒｏｍＺｎＯｉｓｅｎｈａｎｃｅｄｇｒｅａｔｌｙ
ｎｌＴｌａｎｄａｗｉｄｅｐｈｏｔｏｖｏｌｔａｇｅｂａｎｄｆｒｏｍ３９０ｔｏ６００
ｓｈｏｗｔｈｉｓｉｓｂｒｏｕｇｈｔｂｙＺｎＯ／ＮｉＯｈｅｔｅｒｏｊｕｎｃｔｉｏｎ．ａｎｄｏｔｈｅｒＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｈｅｔｅｒｏｊｕｎｃｔｉｏｎｈａｓｐｏｔｅｎｔｉａｌａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｉｎｐｈｏｔｏｃｅｌｌｓ
ｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｄｅｖｉｃｅｓ．
４．ＺｎＯｔｈｉｎｆｉｌｍｓ
ＺｎＯｔｈｉｎｆｉｌｍｓａｒｅａｎｄ（Ｂｕ４Ｎ）２（Ｒｕ）（ｄｃｂｐｙＨ）２（ＮＣＳ）２．（ｃａｌｌｅｄｏｎＮ７１９）ｓｅｎｓｉｔｉｚｅｄｇｒｏｗｎｆｌｕｏｒｉｎｅ—ｄｏｐｅｄｔｉＩｌｏｘｉｄｅｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇｇｌａｓｓｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｕｓｉｎｇｌａｓｅｒｍｏｌｅｃｕｌａｒｂｅａｍｅｐｉｔａｘｙ．Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ－ｖｉｓｉｂｌｅａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ，ｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓｅｅｎｃｅ，ｓｕｒｆａｃｅｐｈｏｔｏｖｏｌｔａｇｅｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ，ａｎｄＲａｍａｎｓｃａｔｔｅｒｉｎｇａｒｅｅｍｐｌｏｙｅｄｔｏｐｒｏｂｅｉｎｔｏｔｈｅｔｒａｎｓｉｔｉｏｎｐｒｏｃｅｓｓｏｆｐｈｏｔｏｇｅｎｅｒａｔｅｄｃｈａｒｇｅｓａｎｄｔｈｅ
ａｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｂｅｔｗｅｅｎＺｎＯａｎｄＮ７１９．Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｔｈａｔｔｈｅｒｅｉｓｓｔｒｏｎｇｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ
ｇｒｅａｔｌｙｂｅｔｗｅｅｎＮ７１９ｅｎｈａｎｃｅｓｔｈｅａｎｄＺｎＯｔｈｒｏｕｇｈｃｈｅｍｉａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ．Ｔｈｅ
ｔｈｕｓｔｈｅｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｐｈｏｔｏｇｅｎｅｒａｔｅｄｃｈａｒｇｅｓｅｐａｒａｔｉｏｎａｎｄｐｈｏｔｏｖｏｌｔａｉｃｒｅｓｐｏｎｓｅｏｆｔｈｅＺｎＯｆｉｌｍ
ｂｕｔｒｅｍａｒｋｅｄｌｙｗｅａｋｅｎｓｉｔｓｒａｄｉａｔｉｖｅｒｅｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎ，ｉ．ｅ．ｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ，ｉｍｐｌｙｉｎｇｓｔｒｏｎｇｅｎｅｒｇｙ
ｗｅａｋａｎｄｃｈａｒｇｅｔｒａｎｓｆｅｒｏｃｃｕｒｉｎｇｂｅｔｗｅｅｎＮ７１９ａｔａｂｏｕｔａｎｄＺｎＯ．Ｉｎａｄｄｉｔｉｏｎ，ａｎｅｗＩｌｒＩｌｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅｐｅａｋｏｂｓｅｒｖｅｄ７２０ｉｓａｔｔｒｉｂｕｔｅｄｔｏｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｎ．ｈｏｌｅｒｅｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎｏｆＮ７１９．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＺｎＯ／ＮｉＯｈｅｔｅｒｏｊｕｎｃｔｉｏｎ；Ｎ７１９／ＺｎＯｈｅｔｅｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ；Ｌ—ＭＢＥｔｅｃｈｎｉｑｕｅ；
ｓｕｒｆａｃｅｐｈｏｔｏｖｏｌｔａｇｅｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ