ACS-4000-C4型多功能磁控溅射仪、金相显微镜、丝网印刷设备、HGL-650型传送带干燥炉、N6705电源分析仪、高压电源、真空实验装置等。
五、实验内容
1、实验准备：学习完成平板玻璃的清洗与退火处理
2、器件电极制作：学习磁控溅射，光刻原理和应用，完成器件电极的制作
3、导电薄膜制作：学习导电薄膜材料的选择和导电薄膜的制备方法，完成导电薄膜的制作
4、阳极荧光板的制作：了解丝网印刷原理，学习阳极荧光板的制作
5、电子发射性能测试：正确使用真空测试系统，完成电子发射的电形成工艺、激活工艺及测试工艺。对测试的数据进行分析讨论
6、器件封接：学习阴极板和阳极板的封接，了解封接原理和过程（观察实验）
六、实验过程
1、玻璃清洗与退火
检查玻璃及刻字
将用于制作阴阳极板的玻璃基片在洗涤中浸泡20分钟
带上橡胶手套用海绵仔细清洗3-5分钟，直到洗去玻璃基片表面污渍
用清水将玻璃基片上的清洗液冲洗干净，然后用压缩空气吹干玻璃基片表面水渍