机的配置情况等。
? 区管企业：因区管企业现场调查难度较大，故采用电话调查方式。
四、现场调查结果汇总
4.1、现场调查情况的简单说明
各厂的蚀刻液回用系统分别见图1~图11，各厂处理装置情况简单说明如下： 1）恩达电路（深圳）有限公司
恩达电路（深圳）有限公司专业生产高频特性板，蚀刻工序产生的碱性和酸性蚀刻液全部现场再生回用，碱性蚀刻液再生回用系统2005年03月投入试生产，同年9月稳定运行；酸性蚀刻液再生回用系统2006年07月投入试生产，同年12月基本实现稳定运行，目前正在进一步优化工艺控制参数。
恩达电路（深圳）有限公司的碱性和酸性蚀刻液再生回用技术由深圳拓鑫环保设备公司和恩达电路联合研究开发。
2）深圳市龙岗区坪山碧岭生利电子制品厂
深圳市龙岗区坪山碧岭生利电子制品厂2005年扩建，产品种类由单一的单面板扩展至单面板、双面板和多层板（4~6层），产品产量增加，目前产量尚未达到设计规模。
深圳市龙岗区坪山碧岭生利电子制品厂危险废物由TMMD环保负责收运处理，其蚀刻液再生系统将碱性蚀刻液提铜后蚀刻液调质处理再生使用，设计处理能力为处理蚀刻液1200L/d，目前实际处理量为1000L/d。处理装置由富源科技发展公司提供，富源科技发展公司负责设计、安装、调试和前期运行，处理装置正式投入正常运行的时间是2004年，根据协议要求，目前该套装置已移交给深圳市龙岗区坪山碧岭生利电子制品厂自己运行。
3）深圳市龙岗区布吉世纪电路板厂
深圳市龙岗区布吉世纪电路板厂为龙岗区所管企业，其碱性蚀刻液再生回用系统已投入正常运行，该系统2005年由深圳市丰河环境工程技术有限公司设计（引进关键技术），2005年10月~2006年3月系统由丰河环境工程技术有限公司、世纪电路板厂联合施工安装，2006年7月开始试运行，目前已实现稳定运行。
4）宝安区沙井沙头柏拉图电子厂
宝安区沙井沙头柏拉图电子厂为宝安区所管企业，已建设一套碱性蚀刻液再
8
生回用系统，部分失效碱性蚀刻液进入处理系统，处理蚀刻液规模2400L/d，待条件成熟，拟扩建碱性蚀刻液再生回用系统。
柏拉图电子厂碱性蚀刻液再生回用系统由深圳市天绿环保科技有限公司负责设计、施工和营运，系统型号为CES-12D，2006年8月开始安装，目前基本实现稳定运行。
5）深圳顺昌线路板厂
该厂专业生产单面板，所产生的碱性蚀刻液全部再生回用，其回用系统最初由长沙绿铱环保科技有限公司提供，设备型号为CPR-1000，2006年年底长沙绿铱环保科技有限公司退出，而后该厂选用萃取-电沉积碱性蚀刻液再生回用装置。
6）至卓飞高线路板（深圳）有限公司
该厂的碱性蚀刻液再生回用系统由香港锦卫有限公司于2004年10月开始建设，年底投入使用，在使用初期其碱性蚀刻液循环周期接近一年，随后循环周期初步下降至半年、三个月，主要原因是侧蚀现象比较严重。
2006年12月4日至卓飞高线路板（深圳）有限公司喷锡车间发生火灾，大火引发公司工厂铜回收系统车间储罐及设备起火，救火过程中，数吨含铜浓废液随消防灭火用水直接流向市政污水和雨水管网，部分含铜废液流入南山区蛇口渔港。本次碱性蚀刻液污染事故是深圳市第一件因火灾引发的碱性蚀刻液污染事故，本次事故中，碱性蚀刻液再生回用系统的设备和储罐全部烧毁，碱性蚀刻液再生回用系统烧毁后至卓飞高未新建回用装置。
7）深圳市景旺电子有限公司
景旺电子有限公司的碱性蚀刻液再生回用系统由香港锦卫有限公司负责设计、施工和运营，2005年8月开始投入运行，2006年7月按照市环保局要求停运，总运行时间接近一年。
8）深圳市宝安区民主勤基电路版厂
民主勤基电路版厂已拆除的碱性蚀刻液再生回用系统由富源科技发展公司负责设计、施工和运营，目前民主勤基电路版厂正在向市环保局监督处申请将碱性蚀刻液再生回用系统恢复使用，同时该厂申请安装酸性蚀刻液再生回用系统，酸性蚀刻液回用系统处理能力为6吨/天，拟由广州思达工程贸易有限公司负责设计，目前设计工作已完成，广州柏宇电子科技产品有限公司负责施工和营运，截止2007年2月底该项目无实质性进展。
9）深圳市华东鑫电子有限公司
9
华东鑫电子有限公司已拆除的碱性蚀刻液再生回用系统由香港锦卫有限公司负责设计、施工和运营，该设施拆除前尚未投入正式运行，设施拆除后槽、罐存放在华东鑫电子有限公司，主体设备香港锦卫有限公司拆走。
10）深圳市博敏兴电子有限公司
博敏兴电子有限公司已停运的碱性蚀刻液再生回用系统由长沙绿铱环保科技有限公司负责设计、施工和运营，2006年4月投产，运行过程中车间内氨气和氯气污染较严重，后将设备搬迁至厂房屋顶。处理蚀刻液设计规模2400L/d。
11）运丰电路版厂
运丰电路版厂为宝安区所管企业，已停运的碱性蚀刻液再生回用系统由富源科技发展公司负责设计、施工和运营，处理蚀刻液规模1600L/d。
12）文明达电子（深圳）有限公司
文明达电子为宝安区所管企业，已停运的碱性蚀刻液再生回用系统由富源科技发展公司负责设计、施工和运营，处理蚀刻液规模1200L/d。
13）沙井卓华电子线路板厂
卓华电子为宝安区所管企业，已拆除的碱性蚀刻液再生回用系统由富源科技发展公司负责设计、施工和运营，处理蚀刻液规模1200L/d。
4.2、现场调查情况汇总
重点调查对象蚀刻液循环利用设施基本情况见表3，一般调查对象蚀刻液循环利用设施基本情况见表4。
4.3、调查统计结果
1、全市使用过和正在使用的蚀刻液现场回用装置的企业共13家，装置总套数17套，目前共有5个企业的蚀刻液现场回用装置处在正常运行中，其中市管企业3家，龙岗区和宝安区区管企业各1家；暂停运行的4家，其中市管企业2家，区管企业2家（全部为宝安区区管企业）；已拆除的3家，其中市管企业2家，区管企业1家；装置烧毁的1家。
2、全市采用萃取-电解法现场再生回用碱性蚀刻液的装置（包括运行中、停运和拆除的）总套数15套，采用隔膜电解法的装置（包括运行中、停运和拆除的）总套数2套，萃取-电解法装置占总数88%，隔膜电解法装置占12%。
3、调查结果表明，采用萃取-电解法的碱性蚀刻液现场再生回用装置总体运行比较稳定，蚀刻液回用率达到95%，铜回收率超过99%。市管正在运行装置均有比较完善的二次污染防治措施，工艺废气均得到有效处理。但所调查企业普
10
遍缺乏应急预防措施，处理装置和生产车间连接管道存在较大的事故风险；部分企业的装置安装在简易雨棚下，未进行有效防护，存在较大的环境和安全风险；部分企业未配套设置有效的工艺废气净化装置。
图1恩达电路碱性蚀刻液再生回用系统 图2恩达电路酸性蚀刻液再生回用系统
图3恩达电路蚀刻液再生回用系统电解槽 图4恩达蚀刻液再生系统废气净化塔
图5生利电子碱性蚀刻液再生回用系统 图6生利电子蚀刻液再生系统电沉积
11
图7世纪电路碱性蚀刻液再生回用系统 图8世纪电路蚀刻液再生系统电沉积
图7顺昌碱性蚀刻液再生回用原有系统 图8顺昌碱性蚀刻液再生回用新建系统
图9至卓飞高线路板（深圳）有限公司碱性蚀刻液再生回用系统现场
12