失效蚀刻液储槽 萃取液 萃取 反应槽 分离槽 水洗 反应槽 分离槽 提 升 泵 提升泵 蚀刻液调配系统 废水处理站 萃取剂萃取剂循环槽 提升泵 水洗水循环槽 再生萃取剂 自来水 氨水（4L/月） 废气净化塔 99.95% 铜 分离槽 反萃 反应槽 电解槽 富铜液 回收铜后电解液 反萃剂循环槽 提升泵 反萃剂. 氨水洗水储槽 萃取反应、分离槽 清洗水回水洗槽 含铜有机层 图14 一般线路板企业碱性蚀刻液再生处理工艺流程方框图
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6.2.1.4、主要生产原、辅材料
废蚀刻液、蚀板盐、氨水、添加剂、萃取剂、硫酸。 6.2.1.5、主要工艺控制参数
? 恩达电路：恩达电路失效碱性蚀刻液现场再生回用系统主要工艺控制参
见表8。
? 其它企业：其它企业以生利电子为典型代表，生利电子失效碱性蚀刻液
现场再生回用系统主要工艺控制参见表9。
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表8 恩达电路碱性蚀刻液再生回用系统主要工艺控制参数一览表
流量控制 流体种类 流量 液体种类 控制指标 失效蚀刻液 200升/小时 稀氨水 200升/小时 浓度控制 失效蚀刻液 再生蚀刻液（调配前） 60~100g/l 9.0~9.3 200~300g/l 电流强度控制 电解液中铜含量 <20g/l 硫酸浓度 电解电流 190~210g/l 500A 25~30g/l 190~210g/l 800~1000A 30~40g/l 190~210g/l 1000~1800A >40g/l 190~210g/l 2000 A 工作蚀刻液 60~100g/l 9.3~10.0 200~300g/l 400~730ml/l 电解槽液 25~38g/l <200mg/l 190~210g/l Cu2+、Cu+ 135~160g/l pH CL- H2SO4 NH4+ NH3 8.0~8.6 200~300 g/l 50~80g/l 130~150g/l 萃取剂 400升/小时 反萃剂 600升/小时 萃取剂吸铜量：15~20g/l 25
表9 生利电子碱性蚀刻液再生回用系统主要工艺控制参数一览表
流量控制 流体种类 流量 液体种类 控制指标 失效蚀刻液 200±10升/小时 清洗水 200±10升/小时 浓度控制 失效蚀刻液 再生蚀刻液（调配前） 60~100g/l 9.0~9.3 ≥185g/l 电流强度控制 电解液中铜含量 <20g/l 硫酸浓度 电解电流 190~210g/l 500A 25~30g/l 190~210g/l 800~1000A 30~40g/l 190~210g/l 1000~1800A >40g/l 190~210g/l 2000 A 工作蚀刻液 135~160g/l 8.0~8.6 170~190g/l 400~730ml/l 电解槽液 25~38g/l <200mg/l 190~210g/l Cu2+、Cu+ 135~160g/l pH CL- H2SO4 NH4+ NH3 8.0~8.6 170~190 g/l 50~80g/l 130~150g/l 萃取剂 400±10升/小时 反萃剂 600±50升/小时 萃取剂吸铜量：15~20g/l 26
6.2.2、隔膜电解法
6.2.2.1、隔膜电解法的发展情况
由长沙绿铱环保科技有限公司2004年研发成功的碱性蚀刻液循环再生机采用隔膜电解法，最初使用的单位是湖南株洲电力机车研究所印制电路板厂，深圳使用的单位共2家，分别是深圳市博敏兴电子有限公司和深圳顺昌线路板厂，深圳市博敏兴电子有限公司的设备已按环保主管部门要求停运，顺昌线路板厂年前将长沙绿铱环保科技有限公司的产品更换为萃取-电解法蚀刻液再生回收设备。
6.2.2.2、隔膜电解法的工艺流程
目前国内提供隔膜电解法碱性蚀刻液循环再生机设备的仅有长沙绿铱环保科技有限公司。
1、工艺原理简介：
本技术将膜分离技术和电沉积工艺相结合，将待处理废蚀刻液置于一个受膜保护的区域内，保护废蚀刻液中的化学物质不被破坏，同时其中的铜离子以金属铜的形态方便回收，因而实现铜和其它化学物质的选择性无损分离；这种选择性无损分离技术IEM-EC在实现铜选择性分离回收的同时，实现对蚀刻有用的组份的回用。
2、工艺流程简介：
隔膜电解法回收利用碱性蚀刻废液和铜的工艺流程图见图15。
图15 隔膜电解法回收利用碱性蚀刻废液和铜的工艺流程图
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