间通过2根软轴连接,带动3根丝杆实现同步移动。在炉门行程中设有4个位臵检测,可自动实现速度的改变和控制炉门的运行停止。在炉门接近上炉体法兰密封圈和接近橡胶支撑块时,自动减慢速度,保证炉门没有明显的冲击,防止炉门内坩埚等由于冲击造成滑动,保护了炉内物料的安全。
在炉门上设有锁紧装臵,在关闭炉门后手动锁紧,增加设备运行的安全性。
炉体内部不锈钢抛光处理,减少水气附着,有利于炉内的抽真空。 设备的在铸锭过程中,先将坩埚通过坩埚升降系统下降到一定的位臵保持静止,再通过伺服电机逐渐打开加热笼底盖,使坩埚底部散发的热量被炉壁夹套中的冷却水吸收,实现热场上下垂直方向形成梯度。 坩埚的底部设有热电偶T2,控制和观察底部的冷却速度,冷却速度的控制是依靠控制加热笼的打开速度、冷却充气流量、炉壁的水流换热量来实现的。 2)加热系统
加热系统采用中频可变频率的方式加热,中频加热依靠加热线圈产生电磁场,由内部的五面石墨发热体发热,形成一个稳定加热区。在发热体的外部是石墨硬复合保温毡隔热层,以对加热区起到保温作用。 石墨保温毡和中频线圈的中间是氧化铝陶瓷毡,它一方面起到保温的作用,另一方面起到中频线圈和石墨硬复合保温毡之间的绝缘作用,所以在安装时必须注意将石墨硬复合保温毡臵于中频线圈的中间,四周
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用陶瓷毡压实。
下部的保温桶安装成可拆卸式,外部由不锈钢框架组成,内部由石墨硬复合保温毡组合而成,按装维修方便。
该设备采用中频变频加热,在预热阶段、熔化阶段、长晶阶段、退火阶段采用1500HZ加热,以提高加热效率。在提纯阶段采用500HZ加热,以提高提纯时的搅拌作用。 3)真空泵系统
真空系统有三级抽真空系统组合而成,具有由四台H-150滑阀泵、两台ZJB-600罗茨泵、两台ZJB-2500罗茨泵、1台K-1200扩散泵、及真空管路、阀门等组成,极限真空可达6.7X10-3Pa. 4)水冷系统
水冷系统设有进水和回水总管,上面设有各个分管,并有压力显示和流量显示,以保证对炉体、真空机组、扩散泵、中频线圈、中频电源、电容柜等的供水冷却之用。 5)电源柜,控制柜
该设备设有总电源柜一个,内部安装有总闸和供电功率消耗表,以方便计算用电成本。设备另安装有总控制柜一个,中频电源控制柜一个和加热电容柜一个,具体参照计算说明书和电路图。 6)人机界面
人机界面包括触摸屏和计算机,它通过悬臂箱和支撑悬臂固定在真
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空壳体的框架上,上部装有报警灯和高危报警蜂鸣器。
悬臂箱的壳体右侧开有下腔室上升和下降按钮,用来控制下腔室的升和降,急停按钮用来控制加热电源的开和断,电源按钮作为人机界面的供电通和断。 4、操作界面介绍
触摸屏工业计算机是炉子的操作控制平台,炉子的各部分动作都要在这里来完成。包括坩埚的运行;隔热门的打开和关闭;下腔室上下运动;温控仪温度调节;气体质量流量控制;腔室压力大小控制;冷却水路流量显示;真空机组的运行;气路控制等等。 4.1主界面
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在上图中是本台设备的主界面,通过这个界面我们可以直观的了解
设备的运行情况,以及与设备相关的附属设备的运行情况。
该界面是观察界面,不能实现操作,主界面的下部分别设有报警、监控、模式、配方、手动、曲线、设定各个界面,需要进入点击即可。 炉子运行时,监控界面是观察炉子运行情况的主要界面、设备运行状态、真空阀门、充气阀门、加热控制、真空度显示、温度显示、隔热门的升降、坩埚的升降、水流量显示等都会在监控界面上显示,监控人员可直观地观察设备的运行状况。 监控界面简介 运行状态
运行模式:该步运行所处的阶段 当前步骤:此时程序运行的步号 剩余时间:该步的剩余时间 加热控制
SV温度:设定温度
PIDSV温度:设定温度的当前值 控制输出:当前输出功率 输出频率:当前输出频率 真空度显示
高真空:腔室真空度在0.01mba以上显示 低真空:腔室真空度在0.01mba以下显示
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设定:腔室气氛设定值 温度显示
T1温度:上部热电偶实际温度 T2温度:下部热电偶实际温度 水温:总管回水温度
扩散泵温度:扩散泵加热实际温度 充气质量流量计 设定值:设定进气的流量 当前值:实际的进气的流量 微抽比例阀
设定值:设定排气的流量 当前值:实际的排气的流量 隔热门升降
设定位移: 该步设定的目标位臵 当前位移:隔热层的实际位臵 速度:PV:电机的运转速度 坩埚升降
设定位移: 该步设定的目标位臵 当前位移:隔热层的实际位臵 速度:电机的运转速度 水流量显示
F1;各个冷却水管的水流量显示。
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