在捡漏通过的情况下，点击模式界面中的“自动运行”按钮，设备即进入自动运行状态。
设备的自动运行要经过预热阶段、熔化阶段、提纯阶段、长晶阶段、退火阶段、和冷却阶段六个阶段。
各个阶段的运行工艺配方可依据工艺的要求在配方中设定。 各阶段说明如下：
加热阶段 加热阶段是在功率控制模式下进行的，通过功率输出的逐渐增大从而提升温度，当温度达到1175时即进入温度控制模式也就是熔化的第一步。
熔化阶段 熔化阶段是整个炉子温度最高的阶段，在这个阶段最高温度达到了1560度，为的就是使硅料全部熔化，该过程大概需要10多个小时。熔化阶段会出现熔化结束报警，告诉操作人员熔化结束，操作人员一方面可观察T1温度和T2温度，确认是否熔化。也可以到炉顶观察孔观察是否熔化结束，当看到硅液呈规则的圆形形状，没有很大的晃动，说明熔化结束。
提纯阶段：提纯阶段是在高温和高真空状态下保温的过程，在这过程中一般温度要保持在1500以上，真空度能达到0.00067mbar以上，具体的时间要根据我们的材料的杂质含量来确定。
长晶阶段 硅料提纯结束后，降低加热功率，使石英坩埚的温度降至1440以下，然后逐步下降坩埚和打开隔热门，与周围形成热交换，使熔体的温度自底部开始降低，晶体硅首先在底部形成，并呈柱状向上生长，直至晶体生长结束，该过程大概需要20几个小时左右。长晶阶段会有长晶报
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警提醒操作工确认长晶结束。
退火阶段 晶体生长完成后，由于底部和上部存在较大的温度梯度，硅锭中可能存在热应力或者如果直接进入冷却会造成裂痕，所以晶体生长完成后，晶体保持在熔点左右2到3小时，使其温度均匀，减少内部应力。 冷却阶段 硅锭在炉内退火后，通过慢慢减小功率，打开隔热门，通入氩气，同时在第三步，腔室压力逐渐上升，当温度降到300度以下时即可出炉。
紧急冷却 紧急冷却是为了应对一些故障时编制的工艺，当炉子出现硅液溢流等紧急情况时
为了人身安全，我们可以手动进入急冷程序，此时加热器断开，功率为零，使硅锭快速凝固。确保设备及人身安全。
5.6 出炉
当温度低于300度时，操作人员即可观察炉内的压力，并将界面切换到手动界面，打开放气阀，使炉内的压力和外部的大气压力保持平衡，即可打开炉门出炉。
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6， 设定
主参数设定界面
检漏时间：真空达到检漏值后，所需的检漏时间。在这里设定为300S。 检漏真空度：检漏时所需达到的真空极限值。在这里设定为0.008mbar. 最高报警温度：这是炉子所允许的最高温度，由热偶测得，如果超过所允许的最高温度限定设备将报警，设备将断电。在这里设定为1600度。 最高温度自动断电时间:最高温度到达后,会出现自动断电.在这里设定的时间是10分钟.
允许的温度误差：允许的温度误差是设定温度和热偶测得的温度间最大偏差，如果超过了允许的温度误差，就会发出这个报警。一般来说，设定的升温速度过快，就会出现输出功率不够的现象，这时一是减缓升温速度，二是进一步加大功率输出。在这里设定为40度。
允许的最大功率： 这是运行过程中，所允许输出的最大功率。在这里设定
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为100%。
最大功率持续时间：输出功率的最大极限值报警。在这里设定为20分钟。 加热阶段转换到温度控制模式的温度：在加热期间，当热偶测量的温度达到这个温度时，程序将从功率控制模式转换到温度控制模式，然后进入熔化阶段。在这里设定为1175度。
冷却结束打开炉门时的温度：冷却结束，打开炉门炉内温度。在这里我们设臵为300℃。
硅液溢流与电源断开的时间间隔：发生硅液溢流报警后，开始计时，如果复位不成功，达到该时间，程序自动转入紧急冷却程序。在这里设臵为60S. 氩气不足报警：氩气的供气压力有一个最低值，低于该压力即报警。在这里设臵为0.2MPA.
压缩空气供气不足报警：压缩空气的供气压力有一个最低值，低于该压力即报警。在这里设臵为0.5MPA.
罗茨泵开启真空度：罗茨泵需在一定的真空范围内方能开启。在这里设定为8mbar.
扩散泵打开需要达到的真空度：打开扩散泵时所需的真空度，在这里设臵为0.05mbar.
扩散泵打开，扩散泵所需温度：扩散泵开启时，扩散泵体加热达到的温度。在这里设臵为170℃。
扩散泵加热开所需的炉内温度：在这里设臵为1200℃。
转化到大流量抽气时的压力：抽气降压阶段，当达到这个压力，档板阀开启，比例阀关闭。在这里设臵为20mbar.
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气体模式下超压报警：这个压力是炉子能保持正常运行的最大压力，如果超过了设定的最大允许值，将会断开电源，转入抽真空模式。在这里设臵为900mbar.
气体模式下警告压力：这是一个警告值，说明炉内压力过大，如果超过了警告压力允许值，将会发出报警，在实际压力超过最大压力之前，它警告操作人员立即查明原因并解决问题。在这里设臵为700mbar.
真空模式下最大压力：在真空模式下，用这个值监控炉内的最大压力，超过该压力，将会出现报警，说明漏气或者因为硅料排气太多造成过压。在这里设臵为1.33mbar.
氩气流量允许最大误差：这是流量控制器允许的最大误差，指实际流量与设定流量之间的最大误差。在这里设臵为0.2升/分钟
总进水管水压报警参数：主管路设有电接点水压力表,水压低于该值会发出报警,说明总管进水水压不足.在这里设臵为0.35MPA.
分水管水流报警值：分水管路设有水流量表,水流量低于设定值会发出报警,说明分水管进水水流量不足.在这里设臵为 升/秒.
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